Κουάρτζο Wafer Boat υψηλής καθαρότητας & ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες εξατομικεύεται

Εισαγωγή του προϊόντος

Μια βάρκα πλακιδίων, επίσης γνωστή ως βάρκα ή μεταφορέας, είναι ένα κρίσιμο εργαλείο στην κατασκευή ημιαγωγών για τη διατήρηση, μεταφορά και τοποθέτηση πλακιδίων.Ο σχεδιασμός του πρέπει να αντέχει σε ακραίες συνθήκες, όπως υψηλές θερμοκρασίες (> 1000°C), χημική διάβρωση και ηλεκτροστατική εκφόρτιση (ESD) για να εξασφαλιστεί η ασφάλεια των πλακών κατά τη διάρκεια διαφόρων διαδικασιών.

Αρχή

- Δεν ξέρω.Προσαρμογή και ρύθμιση:
Οι τρύπες τοποθέτησης στο σκάφος ευθυγραμμίζονται με καρφίτσες στην κασέτα πλακιδίων, επιτρέποντας τη μεταφορά παρτίδων χωρίς χειροκίνητο χειρισμό.
Δύο στρώσεις (ανώτερα και κατώτερα) που εξασφαλίζουν τα πλακάκια κατά τη διάρκεια θερμικού κύκλου (π.χ. αναψύξη).

- Δεν ξέρω.Διαχείριση θερμικού στρες:
Το υλικό χαμηλής θερμικής διαστολής (0,5 × 10 - 6 ° C) ελαχιστοποιεί την κάμψη υπό διακυμάνσεις θερμοκρασίας.
Η δομή του μανιταριού διανέμει την θερμική πίεση ομοιόμορφα.

Συμβατότητα διαδικασίας:
Οι γεωμετρικές σχισμές (π.χ. τύπου I, τύπου V) μπορούν να χωρέσουν διαφορετικά πάχους πλακών (300-800 μm) εξασφαλίζοντας παράλληλα ροή αντιδραστήρα σε αέρια φάση.
Η διαμαντένια διατομή επιτρέπει αμφίδρομη ρομποτική φόρτωση, βελτιώνοντας την απόδοση.

Ασφάλεια και Προστασία:
Τα συστατικά του αμαξοστοιχείου (λυμπήματα, ελαστικές θήκες) απορροφούν μηχανικά σοκ κατά την τοποθέτηση της πλάκας.
Το καθαρισμό με άζωτο αφαιρεί τα υπολείμματα, αποτρέποντας τη μόλυνση

Χαρακτηριστικά

Το λιωμένο γυαλί πυριτίου είναι ένα εξειδικευμένο βιομηχανικό γυαλί που κατασκευάζεται από διοξείδιο του πυριτίου (SiO2).

• - Δεν ξέρω.Ανθεκτικότητα σε υψηλές θερμοκρασίες:

Σημείο μαλακώσεως: ~1730°C.
Λειτουργεί συνεχώς στους 1100-1250 ° C και αντέχει σε βραχυπρόθεσμη έκθεση στους 1450 ° C.

• - Δεν ξέρω.Χημική αδράνεια:

Ανθεκτικό στα περισσότερα οξέα (εκτός από το υδροφθορικό οξύ).
Η αντοχή στη διάβρωση είναι 30 φορές υψηλότερη από την κεραμική και 150 φορές υψηλότερη από τον ανοξείδωτο χάλυβα.
Διατηρεί σταθερότητα σε ακραίες θερμικές συνθήκες, ξεπερνώντας άλλα υλικά.

• Θερμική σταθερότητα:

Εξαιρετικά χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (~ 5,5×10−7/°C).
Επιβιώνει σε θερμικά σοκ (π.χ. θέρμανση σε 1100 °C και σβήσιμο στο νερό).

• - Δεν ξέρω.Οπτική διαφάνεια:

Ευρεία φασματική μετάδοση από υπεριώδες (UV) σε υπέρυθρο (IR).
Διαπερατότητα ορατού φωτός: > 95%.
Η υπεριώδης διαπερατότητα φτάνει τα ανώτατα επίπεδα > 85% στο εύρος των 185-250 nm.

• - Δεν ξέρω.Ηλεκτρική μόνωση:

Η αντίσταση είναι 10.000 φορές υψηλότερη από το συνηθισμένο γυαλί.
Εξαιρετικές διηλεκτρικές ιδιότητες ακόμα και σε υψηλές θερμοκρασίες.

Εφαρμογές