Λεπτομέρειες Blog

Πώς μπορεί μια γκοφρέτα να λεπτυνθεί σε εξαιρετικά λεπτά επίπεδα;
Τι σημαίνει “εξαιρετικά λεπτή γκοφρέτα”;

Τυπικοί ορισμοί πάχους (γκοφρέτες 8"/12")

• Τυπική γκοφρέτα: 600–775 μm

• Λεπτή γκοφρέτα: 150–200 μm

• Εξαιρετικά λεπτή γκοφρέτα: < 100 μm

• Εξαιρετικά εξαιρετικά λεπτή γκοφρέτα: 50 μm, 30 μm, ή ακόμα και 10–20 μm

Γιατί λεπτές γκοφρέτες;

• Μειωμένο συνολικό πάχος στοίβας, συντόμευση TSVs και μείωση καθυστέρησης RC

• Μειωμένη ηλεκτρική αντίσταση και βελτίωση θερμικής απαγωγής

• Ικανοποίηση απαιτήσεων εξαιρετικά λεπτών προϊόντων (κινητά, φορέσιμα, προηγμένη συσκευασία)

Κύριοι κίνδυνοι με τις εξαιρετικά λεπτές γκοφρέτες

1. Δραματικά μειωμένη μηχανική αντοχή

2. Αυξημένη παραμόρφωση (παραμόρφωση/στρέβλωση που προκαλείται από την τάση)

3. Δύσκολος χειρισμός (ανύψωση, μεταφορά, σύσφιξη, ευθυγράμμιση)

4. Υψηλή ευπάθεια των δομών της μπροστινής πλευράς, που οδηγεί σε ρωγμές και θραύση

Συνηθισμένες προσεγγίσεις για την επίτευξη εξαιρετικά λεπτών γκοφρετών

1. DBG (Dicing Before Grinding - Κοπή πριν από την λείανση)
   Η γκοφρέτα είναι μερικώς κομμένη (οι γραφές κόβονται βαθιά αλλά όχι πλήρως), έτσι ώστε το περίγραμμα κάθε μήτρας να καθορίζεται ενώ η γκοφρέτα εξακολουθεί να συμπεριφέρεται ως ένα ενιαίο κομμάτι. Στη συνέχεια, η γκοφρέτα λεπταίνεται στην πίσω πλευρά στο στόχο πάχος, αφαιρώντας σταδιακά το υπόλοιπο πυρίτιο μέχρι το υπολειπόμενο στρώμα να λειανθεί, επιτρέποντας τον καθαρό διαχωρισμό της μήτρας με βελτιωμένο έλεγχο.

2. Διαδικασία Taiko (λεπτότητα με διατήρηση του χείλους)
   Μόνο η κεντρική περιοχή λεπταίνεται, ενώ το εξωτερικό χείλος διατηρείται παχύ. Το διατηρημένο χείλος λειτουργεί ως δακτύλιος ενίσχυσης, βελτιώνοντας την ακαμψία, μειώνοντας τον κίνδυνο παραμόρφωσης και καθιστώντας τον χειρισμό πιο σταθερό κατά την επακόλουθη επεξεργασία.

3. Προσωρινή συγκόλληση γκοφρέτας (υποστήριξη φορέα)
   Η γκοφρέτα είναι προσωρινά συγκολλημένη σε έναν φορέα (ένα “προσωρινό σκελετό”), μετατρέποντας μια εύθραυστη γκοφρέτα σαν γυαλί-χαρτί σε μια διαχειρίσιμη, επεξεργάσιμη συναρμολόγηση. Ο φορέας παρέχει μηχανική υποστήριξη, προστατεύει τα χαρακτηριστικά της μπροστινής πλευράς και εξομαλύνει τη θερμική/μηχανική καταπόνηση—επιτρέποντας τη λεπτότητα σε δεκάδες μικρά ενώ εξακολουθεί να επιτρέπει απαιτητικά βήματα όπως επεξεργασία TSV, ηλεκτρολυτική επιμετάλλωση και συγκόλληση. Αυτό είναι ένας θεμελιώδης παράγοντας για τη σύγχρονη συσκευασία 3D.