Ποιες βασικές προδιαγραφές πρέπει να ληφθούν υπόψη κατά την επιλογή πλακιδίων πυριτίου;

Για την κατασκευή των επιθυμητών συσκευών απόΠλακέτες από πυρίτιοΤο πρώτο βήμα είναι να επιλέξετε το σωστό πλακάκι.

Δύναμη διαμονής:
Το πάχος τουπλακίδια πυριτίουΚατά την κατασκευή των πλακών, είναι απαραίτητος ο ακριβής έλεγχος του πάχους,καθώς τόσο η ακρίβεια όσο και η ομοιομορφία του πάχους της πλάκας επηρεάζουν άμεσα τις επιδόσεις της συσκευής και τη σταθερότητα της διαδικασίας κατασκευής.

Συνολική διακύμανση πάχους (TTV):

Το TTV αναφέρεται στη μέγιστη διαφορά πάχους μεταξύ των παχύτερων και λεπτότερων σημείων στην επιφάνεια της πλάκας.Η διατήρηση χαμηλού TTV εξασφαλίζει συνεπή κατανομή πάχους κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας, το οποίο συμβάλλει στην πρόληψη προβλημάτων σε μεταγενέστερα στάδια κατασκευής και εξασφαλίζει τη βέλτιστη απόδοση της συσκευής.

Συνολική ανάγνωση δείκτη (TIR):
Το TIR αντιπροσωπεύει την επίπεδη επιφάνεια του πλακιδίου, η οποία ορίζεται ως η κατακόρυφη απόσταση μεταξύ των υψηλότερων και των χαμηλότερων σημείων της επιφάνειας του πλακιδίου.Το TIR χρησιμοποιείται για την αξιολόγηση του κατά πόσον η πλάκα έχει οποιαδήποτε παραμόρφωση ή στρέβλωση κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής, διασφαλίζοντας ότι η επίπεδη επιφάνεια της πλάκας πληροί τις απαιτούμενες προδιαγραφές της διαδικασίας.

Κύκνωση:
Η πλώρη αναφέρεται στην κατακόρυφη μετατόπιση του κεντρικού σημείου του πλακιδίου σε σχέση με το επίπεδο των άκρων του, που χρησιμοποιείται κυρίως για την αξιολόγηση της τοπικής κάμψης του πλακιδίου.Μετριέται τοποθετώντας την πλάκα σε επίπεδη επιφάνεια αναφοράς και προσδιορίζοντας την κατακόρυφη απόσταση μεταξύ του κέντρου της πλάκας και του επιπέδου αναφοράςΗ τιμή Bow επικεντρώνεται συνήθως μόνο στην κεντρική περιοχή του πλακιδίου και δείχνει αν το πλακίδιο παρουσιάζει συνολικό σχήμα κυψέλου ή κοίλου.

Δίνη:
Η δίνη περιγράφει την απόκλιση του συνολικού σχήματος του κυψελού από το ιδανικό επίπεδο αναφοράς.Η δίνη ορίζεται ως η μέγιστη απόκλιση μεταξύ οποιουδήποτε σημείου στην επιφάνεια της πλακέτας και του επιπέδου αναφοράς με την καλύτερη προσαρμογή (συνήθως υπολογίζεται με τη μέθοδο των ελάχιστων τετραγώνων)Η τιμή αυτή προσδιορίζεται με τη σάρωση ολόκληρης της επιφάνειας της πλακέτας, μετρώντας το ύψος όλων των σημείων και υπολογίζοντας τη μέγιστη απόκλιση από το επίπεδο που ταιριάζει καλύτερα.Η δίνη παρέχει έναν συνολικό δείκτη της επίπεδης στάθμης της πλάκας, καταγράφοντας τόσο την κάμψη όσο και την περιστροφή σε ολόκληρη την πλάκα.

Η διαφορά ανάμεσα στο τόξο και την δίνη:
Η βασική διαφορά μεταξύ Bow και Warp έγκειται στην περιοχή που αξιολογούν και τον τύπο παραμόρφωσης που περιγράφουν.παρέχοντας πληροφορίες σχετικά με την τοπική κάμψη γύρω από την περιοχή του κέντρουΑντίθετα, το Warp μετρά τις αποκλίσεις σε ολόκληρη την επιφάνεια της πλακέτας σε σχέση με το πιο κατάλληλο επίπεδο.Η εικόνα αυτή παρέχει μια ολοκληρωμένη εικόνα της συνολικής επίπεδης στάθμης και της στρέβλωσης, καθιστώντας την πιο κατάλληλη για την αξιολόγηση του συνολικού σχήματος και της στρέβλωσης της πλάκας..

Τύπος αγωγιμότητας / ντοπαντικό:
Αυτή η παράμετρος προσδιορίζει τον τύπο αγωγιμότητας της πλάκας, δηλαδή αν τα ηλεκτρόνια ή οι τρύπες είναι οι κύριοι φορείς φορτίου.Πλακέτες τύπου NΤα ηλεκτρόνια είναι οι κύριοι φορείς, που συνήθως επιτυγχάνονται με ντόπινγκ με πενταουσιακά στοιχεία όπως ο φωσφόρος (P), το αρσενικό (As) ή το αντιμόνιο (Sb).Πλακέτες τύπου P, οι τρύπες είναι οι περισσότεροι φορείς, που δημιουργούνται από το ντόπινγκ με τριβαλέντα στοιχεία όπως το βόριο (B), το αλουμίνιο (Al) ή το γκάλιο (Ga).Η επιλογή του τύπου ντοπαντικού και αγωγιμότητας επηρεάζει άμεσα την ηλεκτρική συμπεριφορά των τελικών συσκευών.

Αντίσταση (RES):
Η αντίσταση, συχνά συντομογραφείται ως RES, αναφέρεται στην ηλεκτρική αντίσταση τουπλακίδια πυριτίουΟ έλεγχος της αντίστασης κατά τη διάρκεια της κατασκευής πλακιδίων είναι κρίσιμος, καθώς επηρεάζει άμεσα τις επιδόσεις των προερχόμενων συσκευών.Οι κατασκευαστές συνήθως προσαρμόζουν την αντίσταση των πλακιδίων με την εισαγωγή ειδικών συμπληρωτικών κατά τη διάρκεια της επεξεργασίαςΟι τυπικές τιμές στόχου αντίστασης παρέχονται σε πίνακες προδιαγραφών για αναφορά.

Αριθμός σωματιδίων επιφάνειας (σωματίδια):
Τα σωματίδια αναφέρονται στη μόλυνση τουπλακίδια πυριτίουΤα σωματίδια αυτά μπορούν να προέρχονται από υπολειμματικά υλικών, αέρια διαδικασίας, σκόνη ή περιβαλλοντικές πηγές κατά τη διάρκεια της κατασκευής.Η μόλυνση από σωματίδια επιφάνειας μπορεί να επηρεάσει αρνητικά την κατασκευή και την απόδοση των συσκευών, έτσι ώστε ο αυστηρός έλεγχος και ο καθαρισμός των επιφανειών των πλακών είναι απαραίτητοι κατά τη διάρκεια της παραγωγής.Οι κατασκευαστές συνήθως χρησιμοποιούν εξειδικευμένες διαδικασίες καθαρισμού για τη μείωση και την εξάλειψη των σωματιδίων επιφάνειας για τη διατήρηση υψηλής ποιότητας πλακών.

Πώς Να Επιλέξετε το ΚατάλληλοΠλακέτες από πυρίτιο?
Η επιλογή της κατάλληλης πλακέτας πυριτίου μπορεί να καθοδηγείται από τα πρότυπα επιθεώρησης και τις τυπικές παραμέτρους που εμφανίζονται στον παρακάτω πίνακα για πλακέτες 6 ιντσών.

• Διαφορά πάχους:Οι διακυμάνσεις στο πάχος συχνά προκαλούν αποκλίσεις στις διαδικασίες χαρακτικής και διάβρωσης, που απαιτούν αντιστάθμιση κατά τη διάρκεια της κατασκευής.

• Διαμετρική διαφορά:Οι αποκλίσεις διάμετρου μπορεί να οδηγήσουν σε δυσπροσαρμογή της λιθογραφίας, αλλά η επίδραση θεωρείται γενικά μικρή.

• Τύπος αγωγιμότητας και ντοπαντικά:Η επιλογή του σωστού τύπου ντόπινγκ είναι ιδιαίτερα σημαντική.

• Αντίσταση:Η ομοιομορφία της αντίστασης σε όλη την επιφάνεια της πλάκας πρέπει να λαμβάνεται προσεκτικά υπόψη, καθώς η μη ομοιομορφία μπορεί να μειώσει σοβαρά την απόδοση της συσκευής.

• Κρυστάλλινος προσανατολισμός:Το γεγονός αυτό επηρεάζει σημαντικά τις διαδικασίες υγρής χαρακτικής.

• Πλώρη και δίνη:Η κάμψη των κυψελών και η στρέβλωση επηρεάζουν έντονα την ακρίβεια της λιθογραφίας, ιδιαίτερα όταν πρόκειται για μικρές κρίσιμες διαστάσεις (CD) στο σχέδιο.

Συνδεδεμένο προϊόν

SiC Wafer 12inch 300mm πάχος 1000±50um 750±25um Prime Dummy Reaserch Grade για ημιαγωγούς