Ονομασία μάρκας: | ZMSH |
Αριθμός μοντέλου: | Silicon carbide seed wafer |
Όροι πληρωμής: | 100%T/T |
4H SiC Σπόρος Wafer πάχος 600±50μm <1120> Προσαρμογή Ανάπτυξη καρβιδίου του πυριτίου
Ο κρύσταλλος σπόρου SiC είναι στην πραγματικότητα ένας μικρός κρύσταλλος με τον ίδιο κρυσταλλικό προσανατολισμό με τον επιθυμητό κρύσταλλο, ο οποίος χρησιμεύει ως σπόρος για την ανάπτυξη ενός μοναδικού κρύσταλλου.Χρησιμοποιώντας κρυστάλλους σπόρων με διαφορετικό κρυστάλλιο προσανατολισμούΩς εκ τούτου, κατηγοριοποιούνται με βάση τους σκοπούς τους: Κρυστάλλοι σπόρων μονοκρυστάλλων που τραβήχτηκαν από CZ, κρυστάλλοι σπόρων που λιώνουν σε ζώνη,Κρυστάλλοι σπόρων ζαφείρουΣε αυτό το τεύχος, θα μοιραστώ κυρίως μαζί σας τη διαδικασία παραγωγής των κρυστάλλων σπόρων του καρβιδίου του πυριτίου (SiC),συμπεριλαμβανομένης της επιλογής και της παρασκευής κρυστάλλων σπόρων καρβιδίου του πυριτίου, μεθόδους ανάπτυξης, θερμοδυναμικές ιδιότητες, μηχανισμούς ανάπτυξης και έλεγχο ανάπτυξης.
1.Διαχωρισμός ευρείας ζώνης
2. Υψηλή θερμική αγωγιμότητα
3Υψηλή δυναμικότητα πεδίου κρίσιμης διάσπασης.
4. υψηλό ρυθμό μετατόπισης ηλεκτρονίων κορεσμού
Σπόροι από καρβίδιο του πυριτίου | |
Πολυτύπος | 4H |
Λάθος προσανατολισμού επιφάνειας | 4° προς <11-20>±0,5o |
Αντίσταση | Προσαρμογή |
Διάμετρος | 205±0,5 mm |
Δάχος | 600±50μm |
Ακατέργαστη | CMP,Ra≤0,2nm |
Σφιχτότητα μικροσωλήνων | ≤ 1 μe/cm2 |
Γδαρμένες | Διάμετρος |
Τσιπάκια/εντριβές άκρων | Κανένα |
Προσωρινή σήμανση λέιζερ | Κανένα |
Γδαρμένες | ≤2, Συνολικό μήκος≤Διάμετρος |
Τσιπάκια/εντριβές άκρων | Κανένα |
Περιοχές πολυτύπου | Κανένα |
Επιστροφή με λέιζερ | 1 mm (από την επάνω άκρη) |
Τρίχωμα | Τσάμφερ |
Συσκευή | Κασέτα πολυελαφρών |
Ο κρύσταλλος σπόρων του καρβιδίου του πυριτίου χρησιμοποιείται για την παρασκευή του καρβιδίου του πυριτίου.
Οι μονοκρυστάλλοι του καρβιδίου του πυριτίου συνήθως καλλιεργούνται χρησιμοποιώντας τη μέθοδο φυσικής μεταφοράς ατμού.Τα συγκεκριμένα βήματα αυτής της μεθόδου περιλαμβάνουν την τοποθέτηση σκόνης καρβιδίου του πυριτίου στο κάτω μέρος ενός χωνευτήρα γραφίτη και την τοποθέτηση ενός κρυστάλλου σπόρου καρβιδίου του πυριτίου στο πάνω μέρος του χωνευτήραΗ σκόνη του καρβιδίου του πυριτίου αποσυντίθεται σε ουσίες ατμόσφαιρας, όπως ατμός Si, Si2C και SiC2.Αυτές οι ουσίες εξυψώνονται προς την κορυφή του χωνευτήρα υπό την επίδραση μιας αξιακής κλίσης θερμοκρασίαςΌταν φτάνουν στην κορυφή, συμπυκνώνονται στην επιφάνεια του κρυστάλλου σπόρου του καρβιδίου του πυριτίου, κρυσταλλώνοντας σε ένα μονοκρυστάλλιο του καρβιδίου του πυριτίου.
Η διάμετρος του κρυστάλλου σπόρου πρέπει να ταιριάζει με την επιθυμητή διάμετρο του κρυστάλλου.
1.6inch Dia153mm 0.5mm μονοκρυσταλλικό SiC Silicon Carbide κρυστάλλινο σπόρο Wafer ή ίνγκο
2.4h-N 100um Σιδηρουργική σκόνη καρβιδίου πυριτίου για την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC