Ζαφείρινη καρφίτσα ανύψωσης για ημιαγωγούς Κερματικές καρφίτσες ανύψωσης

Ζαφείρινη καρφίτσα ανύψωσης για ημιαγωγούς Κερματικές καρφίτσες ανύψωσης

Σύνοψη του Sapphire ανελκυστήρα

Τα πινάκια ανύψωσης από ζαφείρι είναι κατασκευασμένα με ακρίβεια εξαρτήματα που χρησιμοποιούνται ευρέως στην

εξοπλισμός επεξεργασίας ημιαγωγών, ιδίως για τη μετακίνηση πλακών, επιταξιακότα συστήματα ανάπτυξης και αποθέσεως, όπως MOCVD (μεταλλικό-οργανικό χημικό αποθέσιμο ατμών), PECVD (με βελτίωση του πλάσματος χημικό αποθέσιμο ατμών) και άλλα συστήματα υψηλής θερμοκρασίας, κενού,ή διαβρωτικά περιβάλλονταΚατασκευάζονται από μονοκρυσταλλικό οξείδιο του αλουμινίου (Al2O3), γνωστό και ως συνθετικός ζαφείρι, οι ανελκυστήρες αυτοί εκτιμούνται για την εξαιρετική σκληρότητά τους, τη θερμική τους σταθερότητα, τη χημική τους αντοχή, την υψηλή θερμοκρασία, την υψηλή θερμοκρασία, την υψηλή θερμοκρασία και την υψηλή θερμοκρασία.και αντοχή.

Ιδιότητες της ανυψωτικής καρφίτσας Sapphire

Τα πινάκια ανύψωσης από ζαφείρι είναι συχνά ειδικά σχεδιασμένα

Τα πλεονεκτήματα των ανελκυστήρων με σαφείρι

α.Ανθεκτικότητα σε υψηλές θερμοκρασίες

Το ζαφείρι διατηρεί τη μηχανική του αντοχή σε θερμοκρασίες άνω των 1.500 °C, καθιστώντας το κατάλληλο για επιταξιακούς αντιδραστήρες και θαλάμους εναπόθεσης όπου άλλα υλικά μπορεί να παραμορφωθούν, να οξειδωθούν ή να υποβαθμιστούν.

β. Χημική σταθερότητα

Το ζαφείρι είναι χημικά αδρανές σε αντιδραστικά και διαβρωτικά αέρια όπως H2, NH3 και HF, εξασφαλίζοντας μακροχρόνια απόδοση σε περιβάλλοντα CVD και χαρακτικής.

γ. Εξαιρετική σκληρότητα

Η υψηλή σκληρότητα της επιφάνειας αντιστέκεται στην φθορά και τις γρατζουνιές από την επαφή με την πλάκα και τη μηχανική ενεργοποίηση.

δ. Ακριβότητα διαστάσεων

Το ζαφείρι μπορεί να μεταποιηθεί σε στενές ανοχές (± 1 μm), εξασφαλίζοντας σταθερό ύψος ανύψωσης πλακών, ακρίβεια θέσης και αξιοπιστία ευθυγράμμισης.

ε.Η παραγωγή χαμηλών σωματιδίων

Σε αντίθεση με την επικαλυμμένη κεραμική ή τα μέταλλα που μπορεί να ξεφλουδιστούν ή να εκλύσουν αέρια υπό θερμικό κύκλο, το ζαφείρι δεν παράγει σωματίδια, το οποίο είναι κρίσιμο για τα καθαρά δωμάτια και τα εξαιρετικά καθαρά περιβάλλοντα διαδικασίας.

f.Μακρά διάρκεια ζωής

Η αντοχή στη φθορά και η σταθερότητα των σαφειρών σε ακραίες συνθήκες συμβάλλουν στη χαμηλότερη συχνότητα συντήρησης και μεγαλύτερο χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού.

Φυσική εικόνα της ζαφείρινης καρφίτσας ανύψωσης

Χρησιμοποιήσεις Σφραγίδων Ανύψωσης Ζαφείρι

Οι πινές ανύψωσης ζαφείρι χρησιμοποιούνται σε μια σειρά ημιαγωγών και προηγμένων διαδικασιών υλικών όπου τα πλακίδια πρέπει να χειρίζονται με ακρίβεια κατά τη διάρκεια της κατασκευής.

α. Συστήματα MOCVD

• Ανάπτυξη συστατικών ημιαγωγών με βάση τα GaN, GaAs και InP

• Παραγωγή LED και διόδων λέιζερ

• Σφραγίδες από ζαφείρι και υποστρώματα έτοιμα για επίδειξη

β.Πυρηνικοί αντιδραστήρες PECVD και LPCVD

• Μεταφορά κυψελών κατά την κατάθεση λεπτών μελών με βάση το πλάσμα

• Χρησιμοποιείται σε μικροηλεκτρονικά, ηλιακά κύτταρα, MEMS και φωτονική

γ.Φούρνοι θερμικής επεξεργασίας

• Μεταλλικές συσκευές για την κατασκευή ηλεκτρικών συσσωρευτών

δ.Επιθεώρηση και χειρισμός κυψελών

• Μηχανικά συστήματα που υποστηρίζουν ή χειρίζονται προσωρινά πλακίδια

ε.Θάλαμοι χαρακτικής και καθαρισμού

• Όταν η χημική αντοχή είναι κρίσιμη κατά τον προκαθαρισμό ή την απομάκρυνση της πλάκας

Ερωτήσεις και απαντήσεις

Ε:Ποιοι βασικοί παράγοντες πρέπει να λαμβάνονται υπόψη κατά την αγορά πινών ζαφείρι;

Α:Σενάριο εφαρμογής

• Υλικές συνθήκες: Καθορίζει τις περιβαλλοντικές συνθήκες στις οποίες εκτίθενται οι πινές ανύψωσης, όπως υψηλές θερμοκρασίες ή διαβρωτικά περιβάλλοντα.
• Σκοπός: Επιλέγεται κατάλληλος σχεδιασμός με βάση την ειδική εφαρμογή (π.χ. φασματοσκοπική μέτρηση, όργανα ακριβείας κ.λπ.).

Μέγεθος και προδιαγραφές

• Διάμετρος και μήκος: Επιλέξτε την κατάλληλη διάμετρο και μήκος με βάση το μέγεθος των δειγμάτων που στηρίζονται ή ανυψώνονται.
• Απαιτήσεις ανοχής: Βεβαιωθείτε ότι οι καρφίτσες ανύψωσης πληρούν τις απαιτήσεις διαστασιακής ανοχής της εφαρμογής σας για να διατηρήσετε την ακρίβεια.

Σχετικές συστάσεις για προϊόντα

Στάβρες από σαφείρι