 |
Χέρι Wafer SiC για χειρισμό Wafer, συμβατό με καθαρό δωμάτιο, ανθεκτικό στη διάβρωση, προσαρμόσιμη διεπαφή
Λεπτομέρειες:
| Μάρκα: | ZMSH |
|
Λεπτομερής ενημέρωση |
|||
| Σφιχτότητα: | 3.21g/cm3 | Σκληρότητα: | Δυνατότητα 2500Vickers |
|---|---|---|---|
| Μέγεθος του κόκκου: | 2 έως 10 μm | Χημική καθαρότητα: | 990,99995% |
| Θερμική χωρητικότητα: | 640 J·kg-1 ·K-1 | Θερμοκρασία υπολίμανσης: | 2700°C |
Περιγραφή προϊόντων
Εισαγωγή του προϊόντος Wafer Hand
Το χεράκι του κυψελού SiC είναι ένας τελικός εφέκτης σχεδιασμένος για χειρισμό κυψελών με υψηλή σκληρότητα και θερμική σταθερότητα.προσφέρει εξαιρετική μηχανική αντοχήΕίναι ιδανικό για την επεξεργασία προηγμένων υποστρωμάτων ημιαγωγών όπως SiC, GaN,και ζαφείρι σε καθαρό δωμάτιο και περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας.
Δομή και αρχή λειτουργίας του χειριστή κυψελών
Το χέρι του κυψελού SiC στηρίζει τα κυψέλια από την άκρη ή την πίσω πλευρά τους χρησιμοποιώντας δομές σαν πιρούνι ή προσαρμοσμένες πλατφόρμες.ή μηχανικές λαβές που επιτρέπουν μεταφορά χωρίς επαφή ή με ελάχιστη επαφήΗ υψηλή δομική ακαμψία του εξασφαλίζει σταθερότητα διαστάσεων κατά τη μεταφορά, επιτρέποντας την ακριβή τοποθέτηση των πλακών και τον ελάχιστο κίνδυνο μόλυνσης.
Πεδία εφαρμογής του Wafer Hand
Τα χεράκια κυψελών χρησιμοποιούνται ευρέως στις ακόλουθες ημιαγωγικές και οπτοηλεκτρονικές διεργασίες:
1Συστήματα μεταφοράς πλακών (π.χ. EFEM, φορτιστή FOUP, διεπαφές SMIF pod)
2.Εγκατάσταση/αποφόρτωση πλακών για λιθογραφία, χαρακτική, εμφύτευση ιόντων, θερμική επεξεργασία
3Εργαλεία επιθεώρησης, διαλογής και ταξινόμησης πλακιδίων
4.Τα στάδια σύνδεσης, κοπής, συσκευασίας και τελικών δοκιμών
5.Επεξεργασία με ακρίβεια σε οθόνες οθόνης, MEMS και κατασκευή βιοτσίπ
6Κατάλληλο για Si, SiC, GaAs, GaN, ζαφείρι και άλλα υπόστρωμα
Πλεονεκτήματα του προϊόντοςαπό WΑριστερό χέρι
Α: Υποστηρίζει πλάκες από 2 ίντσες έως 12 ίντσες. Διατίθενται επίσης προσαρμοσμένα μεγέθη.
Ε2: Θα γρατζουνιστεί ή θα μολυνθεί η πλάκα από το χέρι της πλάκας;
Το χέρι είναι φτιαγμένο από χαμηλά σωματίδια, ανθεκτικά στην φθορά υλικά με κατεστραμμένες άκρες και συμμόρφωση καθαρού δωματίου.
Ε3: Μπορεί να ενσωματωθεί σε ρομποτικά συστήματα;
Α: Ναι, υποστηρίζει διάφορες ρομποτικές διεπαφές (π.χ. πρότυπα SECS/GEM, SEMI) και μπορεί να προσαρμοστεί για συγκεκριμένα συστήματα.
Ε4: Ποια είναι η αναμενόμενη διάρκεια ζωής και οι απαιτήσεις συντήρησης;
Α: Σχεδιασμένο για περισσότερους από 1 εκατομμύριο κύκλους λειτουργίας με ελάχιστη συντήρηση· επαρκεί ο περιοδικός καθαρισμός.
Ε5: Μπορεί να προσαρμοστεί με βάση διαφορετικά υλικά πλακών (Si, SiC, Sapphire, κλπ.);
Α: Ναι. Προσφέρουμε εξατομικευμένα σχέδια βελτιστοποιημένα για διάφορα υλικά πλακιδίων με κατάλληλες δομές στήριξης.
Συγγενικά προϊόντα
12 ιντσών SiC Wafer 300mm Silicon Carbide Wafer Conductive Dummy Grade N-Type Ερευνητικό βαθμό
4H/6H P-Type Sic Wafer 4inch 6inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Προς το P-type Doping