Εισήγηση του SiC Ceramic Fork Arm

ΗΚεραμικό βραχίονα πιρούνιου SiC, γνωστή και ωςΚεραμικός απορρυπαντήςΗ συσκευή είναι ένα ρομποτικό εξαρτήμα υψηλών επιδόσεων που έχει σχεδιαστεί για εξαιρετικά καθαρές και υψηλής ακρίβειας εφαρμογές επεξεργασίας πλακών στην παραγωγή ημιαγωγών.κεραμικά από καρβίδιο του πυριτίου (SiC), αυτός ο τελικός εφακτής προσφέρει εξαιρετική μηχανική αντοχή, χαμηλή θερμική διαστολή και εξαιρετική χημική αντοχή, καθιστώντας τον ιδανικό για απαιτητικά περιβάλλοντα διεργασίας όπως οι θαλάμοι κενού,ζώνες υψηλών θερμοκρασιών, και διαβρωτικές ατμόσφαιρες αερίων.

Σε αντίθεση με τους παραδοσιακούς μεταλλικούς ή κουαρτσικούς επιδράτες, ο βραχίονας του κεραμικού πιρούνιου SiC εξασφαλίζει ελάχιστη παραγωγή σωματιδίων και θερμική στρέβλωση,προσφέροντας μακροπρόθεσμη αξιοπιστία και ακριβή ευθυγράμμιση για τη μεταφορά πλακών, τοποθέτηση και λειτουργίες φόρτωσης/αφόρτωσης.

Αρχή κατασκευήςαπό SiC κεραμικό βραχίονα πιρούνιου

ΗΚεραμικός επιθετικός μηχανισμός SiCκατασκευάζεται χρησιμοποιώνταςΚαρβίδιο πυριτίου συνδεδεμένο με αντίδραση (RB-SiC)ήΚαρβίδιο πυριτίου συντηρημένο χωρίς πίεση (SSiC)Η διαδικασία παραγωγής περιλαμβάνει συνήθως:

1. Επεξεργασία σκόνης: Η σκόνη SiC υψηλής καθαρότητας αναμειγνύεται με συνδετικά και πρόσθετα.

2. Σχηματισμός/Σχηματισμός: Χρησιμοποιώντας τεχνικές όπως η παγωμένη ισοστατική πίεση (CIP) ή το τσιμπιδιστικό τσιμπί για τη διαμόρφωση πολύπλοκων γεωμετριών, συμπεριλαμβανομένων λεπτών βραχίονων πιρούνι ή πριονισμένων δομών.

3. Συσσωρεύσεις: Η θερμική επεξεργασία σε θερμοκρασίες άνω των 2000°C εξασφαλίζει υψηλή πυκνότητα, αντοχή και μικροδομική ομοιομορφία.

4. Επεξεργασία ακριβείας: Χρησιμοποιούνται η τριβή CNC και η γυάλωση διαμαντιών για να επιτευχθούν ανοχές διαστάσεων μέχρι μικρών και σε υπερυπαίες επιφάνειες, ελαχιστοποιώντας την ζημιά στις πλάκες.

5. Τελική επιθεώρηση: Η μη καταστροφική δοκιμή (NDT), οι διαμετρικοί έλεγχοι και οι δοκιμές τραχύτητας της επιφάνειας διασφαλίζουν ότι κάθε κεραμικός τελικός εφέκτης πληροί τα πρότυπα της κατηγορίας των ημιαγωγών.

Ολόκληρη αυτή η διαδικασία εξασφαλίζει τηνΤελικός εφεκτόραςδιατηρεί εξαιρετική δυσκαμψία, ελαφρύτητα και μη αντιδραστικότητα σε δύσκολα εργασιακά περιβάλλοντα.

Εφαρμογέςαπό SiC κεραμικό βραχίονα πιρούνιου

ΗΚεραμικό σιδηροτροχείο SiCχρησιμοποιείται ευρέως στους τομείς των ημιαγωγών, των φωτοβολταϊκών και των μικροηλεκτρονικών.

• Συστήματα μεταφοράς κυψελών: Για χειρισμό πλακιδίων από 6 έως 12 ίντσες κατά την κατασκευή των IC.

• Ρομποτικά όπλα σε θαλάμους κενού: Για την επιλογή και τοποθέτηση σε διαδικασίες CVD, ALD και ξηρής χαρακτικής.

• Λιμένες φόρτωσης FOUP/FOSB: Ενσωμάτωση σε ρομποτικά συστήματα για τη μεταφορά πλακών μεταξύ φορέων και μονάδων διαδικασίας.

• Αυτοματοποίηση καθαρών χώρων: Σε γραμμές παραγωγής ημιαγωγών υψηλής απόδοσης όπου είναι απαραίτητη η εξαιρετικά καθαρή διαχείριση.

• Επεξεργασία με λέιζερ ή αναψύξη: όπου η αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και η μη μόλυνση είναι κρίσιμες.

Είναι...Τελικός εφεκτόραςΗ λειτουργία εξασφαλίζει λεπτή αλλά σταθερή λαβή των ημιαγωγών χωρίς μηχανική πίεση ή μόλυνση.

Πλεονεκτήματααπό SiC κεραμικό βραχίονα πιρούνιου

• Υψηλή καθαρότητα: Εξαιρετική αντοχή στη μόλυνση.

• Θερμική σταθερότητα: Διατηρεί την ακαμψία και το σχήμα του κάτω από θερμικούς κύκλους.

• Χαμηλή θερμική επέκτασηΠρολαμβάνει τη θερμική παραμόρφωση, βελτιώνοντας την ευθυγράμμιση των πλακών.

• Χημική αντοχή: Αδιάδραστο σε διάβρωτα αέρια και περιβάλλοντα πλάσματος.

• Μηχανική αντοχή: Ανθεκτικό σε σπασμούς, θραύσματα και παραμόρφωση κάτω από μηχανικό φορτίο.

• Επιφανειακή επίπεδεια: Οι εξαιρετικά ομαλές επιφάνειες επαφής μειώνουν τον κίνδυνο γρατζουνισμού της πλάκας.

Προδιαγραφέςαπό SiC κεραμικό βραχίονα πιρούνιου

Γενικές ερωτήσειςαπό SiC κεραμικό βραχίονα πιρούνιου

Ερώτηση 1: Γιατί να επιλέξετε ένα SiC κεραμικό τελικό εφέκτορα αντί για χαλαζία ή αλουμίνιο;
Α1:Οι κεραμικές SiC προσφέρουν ανώτερη θερμική αντοχή, μηχανική αντοχή και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής σε σύγκριση με τα υλικά του χαλαζιού ή του μετάλλου, ειδικά σε σκληρά περιβάλλοντα πλάσματος ή υψηλών θερμοκρασιών.

Ε2: Μπορούν τα κεραμικά χέρια πιρούνι να προσαρμοστούν για να ταιριάζουν στο ρομπότ ή στο μέγεθος της πλάκας μου;
Α2:Προσφέρουμε πλήρη προσαρμογή της γεωμετρίας του βραχίονα του πιρούνι, των διαστάσεων των τρύπων, και των διεπαφών τοποθέτησης για να ταιριάζει με το ρομποτικό σας σύστημα και τις προδιαγραφές των πλακιδίων.

Ε3: Είναι ασφαλή η χρήση αυτών των τελικών ενεργοποιητών σε συστήματα κενού ή πλάσματος;
Α3:Ασφαλώς. Οι κεραμικές SiC είναι πλήρως συμβατές με περιβάλλοντα υπερυψωμένου κενού (UHV), χαρακτικής πλάσματος και χαρακτικής αντιδραστικών ιόντων (RIE) λόγω της χημικής αδράνειας και της χαμηλής εκπομπής αερίων.

Ε4: Πόσο ανθεκτικό είναι το βραχίονα του διαμάντου από κεραμικό SiC σε επαναλαμβανόμενη χρήση;
Α4:Η υψηλή σκληρότητα και αντοχή του SiC® του επιτρέπουν να αντέχει επαναλαμβανόμενους θερμικούς κύκλους και μηχανικό χειρισμό χωρίς υποβάθμιση, καθιστώντας το ιδανικό για περιβάλλοντα συνεχούς παραγωγής.

Ε5: Παρέχετε δοκιμές ή πιστοποίηση για κάθε τελικό εφακτικό;
Α5:Ναι, όλα τα προϊόντα υποβάλλονται σε αυστηρή επιθεώρηση διαστάσεων, δοκιμές επίπεδων διαστάσεων και επαλήθευση υλικών.

Συγγενικά προϊόντα

12 ιντσών SiC Wafer 300mm Silicon Carbide Wafer Conductive Dummy Grade N-Type Ερευνητικό βαθμό

4H/6H P-Type Sic Wafer 4inch 6inch Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° Προς το P-Type Ντόπινγκ