logo
Καλή τιμή  σε απευθείας σύνδεση

λεπτομέρειες για τα προϊόντα

Created with Pixso. Σπίτι Created with Pixso. προϊόντα Created with Pixso.
Γκοφρέτα καρβιδίου του πυριτίου
Created with Pixso.

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD

Ονομασία μάρκας: ZMSH
MOQ: 1
τιμή: by case
Πληροφορίες συσκευασίας: προσαρμοσμένα χαρτοκιβώτια
Όροι πληρωμής: T/t
Πληροφορίες λεπτομέρειας
Τόπος καταγωγής:
ΚΙΝΑ
Κρυσταλλική δομή:
4H-SIC, 6H-SIC
Αντίσταση:
Αγωγός Τύπος: 0,01 - 100 Ω · cm ; Εμπλοκή ημι -οικειοποίησης (HPSI): ≥ 10⁹ ω · cm
Θερμική αγωγιμότητα:
~ 490 w/m · k
Τραχύτητα:
Ra < 0,5 Nm
Συγκρότημα:
~ 3.2 eV (για 4H-SIC)
Ηλεκτρικό πεδίο κατάρρευσης:
~ 2,8 mV/cm (για 4Η-SIC)
Δυνατότητα προσφοράς:
Κατά περίπτωση
Επισημαίνω:

4H-N SiC epitaxial wafer

,

6H-N silicon carbide wafer

,

SiC wafer for MOS SBD

Περιγραφή προϊόντων

Σύνοψη του χαρτοφυλακίου προϊόντων SiC Substrate & Epi-wafer

 

 

Προσφέρουμε ένα ολοκληρωμένο χαρτοφυλάκιο υψηλής ποιότητας υποστρώσεων και πλακιδίων από καρβίδιο του πυριτίου (SiC), που καλύπτουν πολλαπλούς πολυτύπους και τύπους ντόπινγκ (συμπεριλαμβανομένου του τύπου 4H-N [οδηγός τύπου N],Τύπος 4H-P [οδηγός τύπου P], τύπου 4H-HPSI [High-Purity Semi-Isolating], και τύπου 6H-P [P-type conductive]), με διαμέτρους που κυμαίνονται από 4 ίντσες, 6 ίντσες, 8 ίντσες έως 12 ίντσες.Παρέχουμε υψηλής προστιθέμενης αξίας υπηρεσίες ανάπτυξης επιταξιακών κυψελών , επιτρέποντας ακριβή έλεγχο του πάχους του επι-στρώματος (1 ∆20 μm), της συγκέντρωσης ντόπινγκ και της πυκνότητας ελαττωμάτων.


Κάθε υπόστρωμα SiC και επιταξιακή πλάκα υποβάλλονται σε αυστηρή επιθεώρηση σε γραμμή (π.χ. πυκνότητα μικροσωλήνων <0,1 cm−2, τραχύτητα επιφάνειας Ra <0).2 nm) και ολοκληρωμένη ηλεκτρική χαρακτηριστική (όπως η δοκιμή CV, χαρτογράφηση αντίστασης) για να εξασφαλιστεί η εξαιρετική ομοιότητα και απόδοση των κρυστάλλων. Είτε χρησιμοποιείται για μονάδες ηλεκτρονικής ισχύος, ενισχυτές υψηλής συχνότητας RF, είτε για οπτοηλεκτρονικές συσκευές (π.χ.φωτοανιχνευτές), οι γραμμές προϊόντων υποστρώματος SiC και επιταξιακών πλακιδίων ανταποκρίνονται στις πιο απαιτητικές απαιτήσεις εφαρμογής για αξιοπιστία, θερμική σταθερότητα και αντοχή διάσπασης.

 

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 0  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 1  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 2

 

 


- Δεν ξέρω.

Υποστρώμα SiC: Χαρακτηριστικά τύπου 4H-N και εφαρμογές

 

 

Το υπόστρωμα καρβιδίου του πυριτίου τύπου 4H-N διατηρεί σταθερή ηλεκτρική απόδοση και θερμική ανθεκτικότητα υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας και υψηλού ηλεκτρικού πεδίου, λόγω του ευρέος εύρους ζώνης (~ 3.26 eV) και υψηλή θερμική αγωγιμότητα (~370-490 W/m·K).

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 3  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 4  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 5

 


Βασικά χαρακτηριστικά:

  • N-Type Doping: Η με ακρίβεια ελεγχόμενη ντόπινγκ αζώτου παράγει συγκεντρώσεις φορέα που κυμαίνονται από 1 × 1016 έως 1 × 1019 cm−3 και κινητικότητα ηλεκτρονίων σε θερμοκρασία δωματίου έως περίπου 900 cm2/V·s,που βοηθά στην ελαχιστοποίηση των απωλειών αγωγής.

  • Χαμηλή πυκνότητα ελαττωμάτων: Η πυκνότητα των μικροσωλήνων είναι συνήθως < 0,1 cm−2, και η πυκνότητα εξάρθρωσης του βασικού επιπέδου είναι < 500 cm−2,παρέχοντας ένα θεμέλιο για υψηλή απόδοση συσκευής και ανώτερη ακεραιότητα κρυστάλλου.

  • Εξαιρετική ομοιότητα: Το εύρος αντοχής είναι 0,01·10 Ω·cm, το πάχος του υπόστρωμα είναι 350·650 μm, με ανοχές ντόπινγκ και πάχους ελεγχόμενες εντός ±5%.

- Δεν ξέρω.

 

Προδιαγραφές της πλάκας SiC τύπου 6 ιντσών 4H-N

Ιδιοκτησία Μηδενικός βαθμός παραγωγής MPD ( βαθμός Z) Κατηγορία εικονικών (κατηγορία D)
Αξία Μηδενικός βαθμός παραγωγής MPD ( βαθμός Z) Κατηγορία εικονικών (κατηγορία D)
Διάμετρος 149.5 mm - 150,0 mm 149.5 mm - 150,0 mm
Πολυτύπου 4H 4H
Δάχος 350 μm ± 15 μm 350 μm ± 25 μm
Προσανατολισμός της πλάκας Εκτός άξονα: 4,0° προς <1120> ± 0,5° Εκτός άξονα: 4,0° προς <1120> ± 0,5°
Σφιχτότητα μικροσωλήνων ≤ 0,2 cm2 ≤ 15 cm2
Αντίσταση 0.015 - 0.024 Ω·cm 0.015 - 0.028 Ω·cm
Πρωτογενής επίπεδος προσανατολισμός [10-10] ± 50° [10-10] ± 50°
Πρωτογενές επίπεδο μήκος 475 mm ± 2,0 mm 475 mm ± 2,0 mm
Αποκλεισμός άκρου 3 χιλιοστά 3 χιλιοστά
LTV/TIV / Bow / Warp ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 60 μm
Ακατέργαστη Πολωνική Ra ≤ 1 nm Πολωνική Ra ≤ 1 nm
CMP Ra ≤ 0,2 nm ≤ 0,5 nm
Τρύπες στην άκρη από υψηλής έντασης φως Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 20 mm Μονό μήκος ≤ 2 mm Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 20 mm Μονό μήκος ≤ 2 mm
Έξι πλάκες με υψηλής έντασης φως Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,05% Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,1%
Πολυτύποι περιοχών με υψηλή ένταση φωτός Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,05% Συγκεντρωτική έκταση ≤ 3%
Εμφανίσεις άνθρακα Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,05% Συγκεντρωτική έκταση ≤ 5%
Η επιφάνεια του πυριτίου γρατζουνίζεται από το φως υψηλής έντασης   Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 1 διάμετρος πλάκας
Τσιπάκια με υψηλής έντασης φως Καμία δεν επιτρέπεται πλάτος και βάθος ≥ 0,2 mm 7 επιτρέπεται, ≤ 1 mm το καθένα
Διάσπαση βίδα πεταχτής < 500 cm3 < 500 cm3
Η μόλυνση της επιφάνειας του πυριτίου από το φως υψηλής έντασης    
Συσκευή Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο με μία πλακιδιά Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο με μία πλακιδιά

 

 

Προδιαγραφές του 8 ιντσών τύπου SiC Wafer 4H-N

Ιδιοκτησία Μηδενικός βαθμός παραγωγής MPD ( βαθμός Z) Κατηγορία εικονικών (κατηγορία D)
Αξία Μηδενικός βαθμός παραγωγής MPD ( βαθμός Z) Κατηγορία εικονικών (κατηγορία D)
Διάμετρος 199.5 mm - 200.0 mm 199.5 mm - 200.0 mm
Πολυτύπου 4H 4H
Δάχος 500 μm ± 25 μm 500 μm ± 25 μm
Προσανατολισμός της πλάκας 40,0° προς <110> ± 0,5° 40,0° προς <110> ± 0,5°
Σφιχτότητα μικροσωλήνων ≤ 0,2 cm2 ≤ 5 cm2
Αντίσταση 0.015 - 0.025 Ω·cm 0.015 - 0.028 Ω·cm
Ευγενής Προσανατολισμός    
Αποκλεισμός άκρου 3 χιλιοστά 3 χιλιοστά
LTV/TIV / Bow / Warp ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 35 μm / 70 μm ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 35 μm / 100 μm
Ακατέργαστη Πολωνική Ra ≤ 1 nm Πολωνική Ra ≤ 1 nm
CMP Ra ≤ 0,2 nm ≤ 0,5 nm
Τρύπες στην άκρη από υψηλής έντασης φως Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 20 mm Μονό μήκος ≤ 2 mm Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 20 mm Μονό μήκος ≤ 2 mm
Έξι πλάκες με υψηλής έντασης φως Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,05% Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,1%
Πολυτύποι περιοχών με υψηλή ένταση φωτός Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,05% Συγκεντρωτική έκταση ≤ 3%
Εμφανίσεις άνθρακα Συγκεντρωτική έκταση ≤ 0,05% Συγκεντρωτική έκταση ≤ 5%
Η επιφάνεια του πυριτίου γρατζουνίζεται από το φως υψηλής έντασης   Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 1 διάμετρος πλάκας
Τσιπάκια με υψηλής έντασης φως Καμία δεν επιτρέπεται πλάτος και βάθος ≥ 0,2 mm 7 επιτρέπεται, ≤ 1 mm κάθε ένα
Διάσπαση βίδα πεταχτής < 500 cm3 < 500 cm3
Η μόλυνση της επιφάνειας του πυριτίου από το φως υψηλής έντασης    
Συσκευή Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο με μία πλακιδιά Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο με μία πλακιδιά

 

 

Σκοπός Εφαρμογές:

  • Χρησιμοποιείται κυρίως για ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, όπως MOSFET SiC, διόδους Schottky και μονάδες ισχύος, που χρησιμοποιούνται ευρέως σε κινητήρες ηλεκτρικών οχημάτων, ηλιακούς μετατροπείς, βιομηχανικές μονάδες κίνησης,και συστήματα έλξηςΟι ιδιότητές του το καθιστούν επίσης κατάλληλο για συσκευές υψηλής συχνότητας RF σε σταθμούς βάσης 5G.

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 6

 

 


 

Υποστρώμα SiC: 4H ημιμονωτικός τύπος Χαρακτηριστικά και εφαρμογές

 

 

Το 4H ημιμονωτικό υπόστρωμα SiC διαθέτει εξαιρετικά υψηλή αντίσταση (συνήθως ≥ 109 Ω·cm), η οποία καταστέλλει αποτελεσματικά την παρασιτική αγωγιμότητα κατά τη μετάδοση σήματος υψηλής συχνότητας,καθιστώντας την ιδανική επιλογή για την κατασκευή υψηλής απόδοσης συσκευών ραδιοσυχνοτήτων (RF) και μικροκυμάτων.

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 7  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 8  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 9

 


Βασικά χαρακτηριστικά:

  • Τεχνικές ελέγχου ακρίβειας: Οι προηγμένες τεχνικές ανάπτυξης κρυστάλλων και επεξεργασίας επιτρέπουν ακριβή έλεγχο της πυκνότητας των μικροσωλήνων, της δομής ενός κρυστάλλου, της περιεκτικότητας σε ακαθαρσίες και της αντίστασης,διασφάλιση υψηλής καθαρότητας και ποιότητας του υποστρώματος.
  • Υψηλή θερμική αγωγιμότητα: Παρόμοια με το αγωγό SiC, διαθέτει εξαιρετικές δυνατότητες θερμικής διαχείρισης, κατάλληλες για εφαρμογές υψηλής πυκνότητας ισχύος.
  • Υψηλή ποιότητα της επιφάνειας: Η τραχύτητα της επιφάνειας μπορεί να επιτύχει επίπεδη επιφάνεια σε ατομικό επίπεδο (Ra < 0,5 nm), ικανοποιώντας τις απαιτήσεις για υψηλής ποιότητας επιταξιακή ανάπτυξη.

- Δεν ξέρω.

 

Προδιαγραφή υποστρώματος SiC 4H-semi 6inch

Ιδιοκτησία Μηδενικός βαθμός παραγωγής MPD ( βαθμός Z) Κατηγορία εικονικών (κατηγορία D)
Διάμετρος (mm) 145 mm - 150 mm 145 mm - 150 mm
Πολυτύπου 4H 4H
Δάχος (μm) 500 ± 15 500 ± 25
Προσανατολισμός της πλάκας Στον άξονα: ±0.0001° Για τον άξονα: ±0,05°
Σφιχτότητα μικροσωλήνων ≤ 15 cm-2 ≤ 15 cm-2
Αντίσταση (Ωcm) ≥ 10E3 ≥ 10E3
Πρωτογενής επίπεδος προσανατολισμός (0-10) ° ± 5,0 ° (10-10) ° ± 5,0 °
Πρωτογενές επίπεδο μήκος Σημείο Σημείο
Εκκλεισμός άκρων (mm) ≤ 2,5 μm / ≤ 15 μm ≤ 5,5 μm / ≤ 35 μm
ΛΤΒ / Κούπα / Δυνατότητα δίνης ≤ 3 μm ≤ 3 μm
Ακατέργαστη Πολωνικό Ra ≤ 1,5 μm Πολωνικό Ra ≤ 1,5 μm
Τσιπάκια με υψηλής έντασης φως ≤ 20 μm ≤ 60 μm
Θερμοποιητικές πλάκες με υψηλής έντασης φως Συσσωρευτικό ≤ 0,05% Συσσωρευτικό ≤ 3%
Πολυτύποι περιοχών με υψηλή ένταση φωτός Περιεκτικότητα σε οπτικό άνθρακα ≤ 0,05% Συσσωρευτικό ≤ 3%
Η επιφάνεια του πυριτίου γρατζουνίζεται από το φως υψηλής έντασης ≤ 0,05% Συσσωρευτικό ≤ 4%
Τσιπς άκρης με υψηλής έντασης φως (μέγεθος) Δεν επιτρέπεται > 02 mm πλάτος και βάθος Δεν επιτρέπεται > 02 mm πλάτος και βάθος
Η Διεύρυνση Βοηθητικής Στροφής ≤ 500 μm ≤ 500 μm
Η μόλυνση της επιφάνειας του πυριτίου από το φως υψηλής έντασης ≤ 1 x 10^5 ≤ 1 x 10^5
Συσκευή Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο με μία πλακιδιά Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο με μία πλακιδιά

 

 

Προδιαγραφές 4-ιντσών 4H-ημιμονωτικού SiC υποστρώματος

Παράμετρος Μηδενικός βαθμός παραγωγής MPD ( βαθμός Z) Κατηγορία εικονικών (κατηγορία D)
Φυσικές Ιδιότητες    
Διάμετρος 99.5 mm ∙ 100.0 mm 99.5 mm ∙ 100.0 mm
Πολυτύπου 4H 4H
Δάχος 500 μm ± 15 μm 500 μm ± 25 μm
Προσανατολισμός της πλάκας Για τον άξονα: < 600h > 0,5° Για τον άξονα: <000h > 0,5°
Ηλεκτρικές ιδιότητες    
Σφιχτότητα μικροσωλήνων (MPD) ≤ 1 cm−2 ≤ 15 cm−2
Αντίσταση ≥ 150 Ω·cm ≥ 1,5 Ω·cm
Γεωμετρικές ανοχές    
Πρωτογενής επίπεδος προσανατολισμός (0x10) ± 5,0° (0x10) ± 5,0°
Πρωτογενές επίπεδο μήκος 52.5 mm ± 2,0 mm 52.5 mm ± 2,0 mm
Δευτερογενές επίπεδο μήκος 180,0 mm ± 2,0 mm 180,0 mm ± 2,0 mm
Δευτερογενής επίπεδης προσανατολισμός 90° CW από το Prime flat ± 5,0° (Si ανάποδα) 90° CW από το Prime flat ± 5,0° (Si ανάποδα)
Αποκλεισμός άκρου 3 χιλιοστά 3 χιλιοστά
ΛΤΒ / ΤΤΒ / Βόου / Δύση ≤2,5 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm ≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm
Ποιότητα της επιφάνειας    
Επεξεργαστική ικανότητα ≤ 1 nm ≤ 1 nm
Επεξεργαστική ανάλυση ≤0,2 nm ≤0,2 nm
Τρύπες στην άκρη (φως υψηλής έντασης) Απαγορεύεται Συγκεντρωτικό μήκος ≥10 mm, μεμονωμένη ρωγμή ≤2 mm
Ελαττώματα εξάγωνων πλάκων ≤ 0,05% σωρευτική έκταση ≤ 0,1% σωρευτική έκταση
Περιοχές συμπερίληψης πολυτύπων Απαγορεύεται ≤ 1% σωρευτική έκταση
Εμφανίσεις άνθρακα ≤ 0,05% σωρευτική έκταση ≤ 1% σωρευτική έκταση
Γδαρμένες επιφάνειας πυριτίου Απαγορεύεται ≤1 διάμετρος πλάκας σωρευτικό μήκος
Τσιπς Edge Καμία δεν επιτρέπεται (κατά πλάτος/βάθος ≥ 0,2 mm) ≤5 τσιπς (κάθε ≤1 mm)
Η μόλυνση της επιφάνειας με πυρίτιο Δεν προσδιορίζεται Δεν προσδιορίζεται
Συσκευή    
Συσκευή Κασέτα με πολλαπλές πλακέτες ή δοχείο με μία πλακέτα Κασέτα πολλαπλών πλακών ή

 

 

Σκοπός Εφαρμογές:

  • Εφαρμόζεται κυρίως στο πεδίο ραδιοσυχνοτήτων υψηλής συχνότητας, όπως ενισχυτές ισχύος σε συστήματα επικοινωνίας μικροκυμάτων, ραντάρ φάσης και ασύρματοι ανιχνευτές.

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 10

 

 


 

SiC Epitaxial Wafer: 4H-N Χαρακτηριστικά τύπου και εφαρμογές

 

 

Το ομοεπιταξιακό στρώμα που καλλιεργείται στο υπόστρωμα SiC τύπου 4H-N παρέχει ένα βελτιστοποιημένο ενεργό στρώμα για την κατασκευή συσκευών υψηλής απόδοσης ισχύος και ραδιοσυχνότητας.Η επιτακτική διαδικασία επιτρέπει ακριβή έλεγχο του πάχους της στρώσης, συγκέντρωση ντόπινγκ και ποιότητα κρυστάλλων.
- Δεν ξέρω.

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 11  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 12  Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 13

 

 

Βασικά χαρακτηριστικά:

  • Προσαρμόσιμες ηλεκτρικές παραμέτρους: Το πάχος (τυπική περιοχή 5-15 μm) και η συγκέντρωση ντόπινγκ (π.χ.1E15 - 1E18 cm−3) του επιταξιακού στρώματος μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις της συσκευής, με καλή ομοιομορφία.

  • Χαμηλή πυκνότητα ελαττωμάτων: Οι προηγμένες τεχνικές επιταξιακής ανάπτυξης (όπως η CVD) μπορούν να ελέγχουν αποτελεσματικά την πυκνότητα των επιταξιακών ελαττωμάτων όπως τα ελαττώματα καρότου και τα τριγωνικά ελαττώματα,βελτίωση της αξιοπιστίας της συσκευής.

  • Κληρονομιά των πλεονεκτημάτων του υποστρώματος: Το επιταξιακό στρώμα κληρονομεί τις εξαιρετικές ιδιότητες του υποστρώματος SiC τύπου 4H-N, συμπεριλαμβανομένης της ευρείας ζώνης, του ηλεκτρικού πεδίου υψηλής διάσπασης,και υψηλή θερμική αγωγιμότητα..

 

 

Προδιαγραφές άξονα επιφάνειας 6 ιντσών τύπου N
  Παράμετρος μονάδα Z-MOS
Τύπος Ηλεκτρική αγωγιμότητα / Ντόπαντο - Τύπος N / Αζώτο
Τάγμα αποθήκευσης Δάχος στρώματος θωρακίου Εμ. 1
Δυνατότητα ανοχής πάχους στρώματος θωρακίου % ±20%
Συγκέντρωση στο στρώμα αποθήκευσης cm-3 1.00E+18
Ανεκτικότητα συγκέντρωσης στο στρώμα αποθήκευσης % ±20%
1ο στρώμα Epi Δάχος στρώσης Epi Εμ. 11.5
Ομοιομορφία πάχους στρώματος Epi % ± 4%
Επικάλυψη πάχους στρωμάτων
Μέγιστο (μίν.) /Προσδιορισμός
% ± 5%
Συγκέντρωση στο στρώμα επιπλήρωσης cm-3 1E 15~ 1E 18
Ανεκτικότητα συγκέντρωσης στρώματος Epi % 6%
Ομοιομορφία συγκέντρωσης στρώματος Epi (σ)
/μέσο όρο)
% ≤ 5%
Ομοιομορφία συγκέντρωσης στρώματος Epi
< (max-min) / (max+min)
% ≤ 10%
Σχήμα επιταχούς βάφλας Υποκλίνεσαι. Εμ. ≤ ± 20
WARP Εμ. ≤ 30
TTV Εμ. ≤ 10
Επενδύσεις Εμ. ≤ 2
Γενικά χαρακτηριστικά μήκος γρατσουνιών χμ ≤ 30 mm
Τσιπς Edge - Καμία
Ορισμός ελαττωμάτων   ≥97%
(Μετρώνται με 2*2,
Τα φονικά ελαττώματα περιλαμβάνουν:
Μικροσωλήνες /Μεγάλα λάκκια, Καρότο, Τριγωνικό
Μεταλλική μόλυνση ατόμων/cm2 Δ Φ Φ Ι
≤ 5E10 άτομα/cm2 (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn,
Hg, Na, K, Ti, Ca & Mn)
Πακέτο Προδιαγραφές συσκευασίας Μονάδες/κουτί περιέκτης πολλαπλών πλακών ή ενός πλακού

 

 

Προδιαγραφή επιταξιακού τύπου N 8 ιντσών
  Παράμετρος μονάδα Z-MOS
Τύπος Ηλεκτρική αγωγιμότητα / Ντόπαντο - Τύπος N / Αζώτο
Σκηνή αποθήκευσης Μέγεθος στρώματος θωρακιστή Εμ. 1
Δυνατότητα ανοχής πάχους στρώματος θωρακίου % ±20%
Συγκέντρωση στο στρώμα αποθήκευσης cm-3 1.00E+18
Ανεκτικότητα συγκέντρωσης στο στρώμα αποθήκευσης % ±20%
1ο στρώμα Epi Μέσο πάχος των στρωμάτων Epi Εμ. 8 έως 12
Εναρμόνιση πάχους στρωμάτων Epi (σ/μέσο όρο) % ≤ 2.0
Επικάλυψη πάχους στρωμάτων (Spec -Max,Min) /Spec) % ±6
Επικαιροποιημένα στρώματα καθαρή μέση ντόπινγκ cm-3 8E+15 ~2E+16
Επικαιροποιημένη ομοιότητα ντόπινγκ (σ/μέσο όρο) % ≤ 5
Επικάλυψη Ντόπινγκ Επικάλυψη Ντόπινγκ % ± 10.0
Σχήμα επιταχούς βάφλας Εpiιpiεριpiτώσει
Δύση.
Εμ. ≤ 500
Υποκλίνεσαι. Εμ. ± 30.0
TTV Εμ. ≤ 10.0
Επενδύσεις Εμ. ≤ 4,0 (10 mm × 10 mm)
Γενικά
Χαρακτηριστικά
Γδαρμένες - Συγκεντρωτικό μήκος ≤ 1/2 διάμετρος πλάκας
Τσιπς Edge - ≤ 2 τσιπς, κάθε ακτίνα ≤ 1,5 mm
Κατανάλωση από επιφανειακά μέταλλα ατόμων/cm2 ≤ 5E10 άτομα/cm2 (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn,
Hg, Na, K, Ti, Ca & Mn)
Επιθεώρηση ελαττωμάτων % ≥ 96.0
(2X2 Τα ελαττώματα περιλαμβάνουν μικροσωλήνες /μεγάλα λάκκια,
Καρότο, Τριγωνικά ελαττώματα, Καταρράκτες,
Επικαιροποιημένα συστήματα
Καθαρισμός από επιφανειακά μέταλλα ατόμων/cm2 ≤ 5E10 άτομα/cm2 (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn,
Hg, Na, K, Ti, Ca & Mn)
Πακέτο Προδιαγραφές συσκευασίας - περιέκτης πολλαπλών πλακών ή ενός πλακού

 

- Δεν ξέρω.

Σκοπός Εφαρμογές:

  • Είναι το βασικό υλικό για την κατασκευή συσκευών υψηλής τάσης (όπως MOSFET, IGBT, διόδους Schottky), που χρησιμοποιούνται ευρέως σε ηλεκτρικά οχήματα,Παραγωγή ηλεκτρικής ενέργειας από ανανεώσιμες πηγές (φωτοβολταϊκοί μετατροπείς), βιομηχανικές κινητήρες και αεροδιαστημικά πεδία.

 

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 14

 

 


 

Για το ZMSH

 

 

Η ZMSH διαδραματίζει βασικό ρόλο στη βιομηχανία υποστρώματος από καρβίδιο του πυριτίου (SiC), εστιάζοντας στην ανεξάρτητη έρευνα και ανάπτυξη και στην μεγάλης κλίμακας παραγωγή κρίσιμων υλικών.Εξοικονόμηση βασικών τεχνολογιών που καλύπτουν ολόκληρη τη διαδικασία από την ανάπτυξη των κρυστάλλωνΗ ZMSH διαθέτει το πλεονέκτημα της βιομηχανικής αλυσίδας ενός ολοκληρωμένου μοντέλου παραγωγής και εμπορίας, επιτρέποντας ευέλικτες εξατομικευμένες υπηρεσίες επεξεργασίας για τους πελάτες.

 

Το ZMSH μπορεί να παράγει υπόστρωμα SiC σε διάφορα μεγέθη από 2 ίντσες έως 12 ίντσες διάμετρος.Τύπος 4H-HPSI (υψηλής καθαρότητας ημιμόνωση), τύπου 4H-P και τύπου 3C-N, που πληρούν τις ειδικές απαιτήσεις των διαφόρων σενάριων εφαρμογής.

 

 

Δίσκος SiC, Επιταξιακός δίσκος SiC 4H-N HPSI 6H-N 6H-P 3C-N για MOS ή SBD 15

 

 


 

Ενημερωτικά ερωτήματα σχετικά με τους τύπους υποστρώματος SiC - Δεν ξέρω.

 

 

 

Ε1: Ποιοι είναι οι τρεις κύριοι τύποι υπόστρωτων SiC και οι κύριες εφαρμογές τους;
Α1: Οι τρεις κύριοι τύποι είναι ο τύπος 4H-N (οδηγός) για συσκευές ισχύος όπως τα MOSFET και τα EV,4H-HPSI (υψηλής καθαρότητας ημιμόνωση) για συσκευές ραδιοσυχνοτήτων υψηλής συχνότητας, όπως ενισχυτές σταθμών βάσης 5G, και τύπου 6H που χρησιμοποιείται επίσης σε ορισμένες εφαρμογές υψηλής ισχύος και υψηλής θερμοκρασίας.
- Δεν ξέρω.

Ε2: Ποια είναι η θεμελιώδης διαφορά μεταξύ του τύπου 4H-N και των ημιμονωτικών υπόστρωτων SiC;
Α2: Η βασική διαφορά έγκειται στην ηλεκτρική τους αντίσταση· ο τύπος 4H-N είναι αγωγός με χαμηλή αντίσταση (π.χ. 0,01 έως 100 Ω·cm) για ροή ρεύματος στην ηλεκτρονική ισχύ,ενώ οι τύποι ημιμόνωσης (HPSI) παρουσιάζουν εξαιρετικά υψηλή αντίσταση (≥ 109 Ω·cm) για την ελαχιστοποίηση της απώλειας σήματος σε εφαρμογές ραδιοσυχνοτήτων.

 

Ε3: Ποιο είναι το βασικό πλεονέκτημα των HPSI SiC πλακών σε εφαρμογές υψηλής συχνότητας όπως σταθμοί βάσης 5G;
Α3: Οι πλάκες HPSI SiC παρέχουν εξαιρετικά υψηλή αντίσταση (> 109 Ω·cm) και χαμηλή απώλεια σήματος.καθιστώντας τα ιδανικά υποστρώματα για ενισχυτές ισχύος ραδιοσυχνοτήτων με βάση το GaN στις υποδομές 5G και τις δορυφορικές επικοινωνίες.

 

 

 

Ετικέτες: #SiC wafer, #SiC Epitaxial wafer, #Silicon Carbide Substrate, #4H-N, #HPSI, #6H-N, #6H-P, #3C-N, #MOS ή SBD, #Προσαρμοσμένο, 2 ίντσες 3 ίντσες 4 ίντσες 6 ίντσες 8 ίντσες 12 ίντσες