1. Σύνοψη

Αυτό το ακριβές δομικό δομικό δοχείο μεταφοράς είναι ένα προηγμένο βιομηχανικό κατασκευασμένο για εφαρμογές που απαιτούν εξαιρετική μηχανική αντοχή, θερμική σταθερότητα,και διαμετρική ακρίβειαΜε συνδυασμό πολυζωνικών δακτυλικών σχισμών και ενισχυμένου δικτύου ακτινοβολητικών πλευρών υποστήριξης,το δίσκο έχει σχεδιαστεί για να προσφέρει ανώτερη απόδοση σε περίπλοκα και απαιτητικά περιβάλλοντα παραγωγήςΒιομηχανίες όπως η κατασκευή ημιαγωγών, η επταξία LED, η προηγμένη συγκόλληση κεραμικών και η επεξεργασία κενού υψηλής θερμοκρασίας βασίζονται σε αυτόν τον τύπο δίσκου για να εξασφαλίσουν την αξιοπιστία, τη σταθερότητα,και υψηλή απόδοση.

Η γεωμετρία του δίσκου είναι βελτιστοποιημένη ώστε να διανέμει ομοιόμορφα τα μηχανικά φορτία, να διατηρεί τη δομική ακαμψία υπό υψηλή πίεση,και βελτίωση της θερμικής ομοιομορφίας κατά τις εργασίες που περιλαμβάνουν ταχεία θέρμανση και ψύξηΣε συνδυασμό με υψηλής καθαρότητας κεραμικά ή μεταλλικά υλικά και ισχυρές διαδικασίες επεξεργασίας, το προϊόν αυτό αντιπροσωπεύει μια νέα γενιά βιομηχανικών συσσωρευτών που έχουν σχεδιαστεί για ακριβή κατασκευή.

2Δομικά χαρακτηριστικά και λειτουργικό σχεδιασμό

2.1 Πολυζώνιο δακτυλικό πλαίσιο σχισμής

Το δίσκο ενσωματώνει αρκετά στρώματα καλά κατανεμημένων δακτυλικών σχισμάτων.

• Μείωση βάρους:Η μικρότερη μάζα μειώνει την αδράνεια κατά την περιστροφή και βελτιώνει τη συνολική λειτουργική απόδοση.

• Βελτιστοποίηση της ροής θερμότητας:Οι τρύπες αυξάνουν την αποτελεσματική περιοχή διάχυσης θερμότητας, επιτρέποντας την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας σε όλη την επιφάνεια.

• Σχεδιασμός ανακούφισης από άγχος:Το διαχωρισμένο μοτίβο ελαχιστοποιεί τη συγκέντρωση θερμικών και μηχανικών πιέσεων, μειώνοντας τον κίνδυνο ρωγμών ή παραμορφώσεων.

Αυτή η αρχιτεκτονική πολλαπλών ζωνών είναι ιδιαίτερα χρήσιμη σε διαδικασίες συγκόλλησης υψηλής θερμοκρασίας και ημιαγωγών όπου οι θερμικές κλίμακες πρέπει να ελέγχονται με ακρίβεια.

2.2 Ενισχυμένο δίκτυο ακτινοειδών πλευρών

Τα ακτινοειδή πλευρά σχηματίζουν ένα διασταυρωμένο δομικό πλαίσιο που ενισχύει σημαντικά τη μηχανική αντοχή.

• Υποστήριξη βαρέων φορτίων χωρίς παραμόρφωση

• Βελτιώνει τη σταθερότητα περιστροφής όταν τοποθετείται σε σπιντέλα

• Αντίσταση στην κάμψη ή την εκτροπή κατά τη διάρκεια των κύκλων θέρμανσης και ψύξης

• Διατήρηση μακροπρόθεσμης διαμετρικής ακρίβειας

Ο συνδυασμός δακτυλικών και ακτινοειδών δομών οδηγεί σε ένα εξαιρετικά ισορροπημένο σχέδιο ικανό να διατηρεί την ακεραιότητά του σε έντονα βιομηχανικά περιβάλλοντα.

2.3 Υψηλής ακρίβειας μηχανική επιφάνεια

Η επιφάνεια του δίσκου κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας προηγμένες διαδικασίες μηχανικής CNC και προετοιμασίας επιφάνειας.

• Υψηλή επίπεδεια

• Ακριβής ομοιομορφία πάχους

• Σημεία επαφής ομαλής φόρτωσης

• Μειωμένη τριβή για υποστρώματα ή κολλητικά στοιχεία

• Συνεπής συμβατότητα με αυτόματο εξοπλισμό

Η επεξεργασία αυτής της ακρίβειας είναι κρίσιμη για τις ημιαγωγές και τις οπτικές εφαρμογές, όπου ακόμη και μικρές αποκλίσεις μπορούν να οδηγήσουν σε ελαττώματα ή απώλεια απόδοσης.

2.4 Κεντρική διεπαφή στερέωσης

Στον πυρήνα του δίσκου βρίσκεται μια εξειδικευμένη διεπαφή τοποθέτησης που αποτελείται από πολλαπλές τρύπες με ακρίβεια.

• Ασφαλής εγκατάσταση σε περιστρεφόμενους άξονες

• Εναρμόνιση με εστιατόρια κλιβάνου ή κενού

• Σταθερή τοποθέτηση για αυτοματοποιημένα συστήματα χειρισμού

• Ενσωμάτωση με εξατομικευμένα εργαλεία μηχανικής

Αυτό διασφαλίζει ότι το δίσκο ταιριάζει εύκολα σε διάφορες βιομηχανικές ροές εργασίας και μοντέλα εξοπλισμού.

2.5 Διαρθρωτική ενίσχυση στο εξωτερικό δαχτυλίδι

Ο εξωτερικός δακτύλιος περιλαμβάνει διαχωρισμένα ενισχυτικά πακέτα που ενισχύουν την άκρη και διατηρούν την ισορροπία περιστροφής.

• Αντίσταση σε δονήσεις

• Σταθερότητα περιφερειακού φορτίου

• Ανθεκτικότητα σε επαναλαμβανόμενες μηχανικές συγκρούσεις

Μαζί με το εσωτερικό σύστημα πλευρών, ο εξωτερικός δακτύλιος δημιουργεί ένα άκαμπτο και σταθερό φορέα κατάλληλο για μακρά διάρκεια ζωής.

3. Επιλογές υλικών για διαφορετικές εφαρμογές

Το δίσκο μπορεί να κατασκευαστεί από πολλαπλά υλικά υψηλών επιδόσεων ανάλογα με τις απαιτήσεις εφαρμογής:

3.1 Συμπυκνωμένο Καρβίδιο Σίλικου (SSiC)

• Υπερ-χαμηλή πορώσεια

• Υψηλή θερμική αγωγιμότητα

• Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση

• Ιδανικό για εξαιρετικά καθαρά περιβάλλοντα ημιαγωγών και κενού

3.2 Καρβίδιο του Σιλικού με σύνδεση από αντίδραση (RBSiC)

• Εξαιρετική αντοχή σε θερμικά σοκ

• Καλή μηχανική αντοχή

• Αποδοτική από άποψη κόστους για μαζική παραγωγή

• Διορθωτικές συσκευές για την κατασκευή ηλεκτρικών συσσωρευτών

3.3 Αλουμινένια κεραμική

• Σταθερό έως 1600°C

• Φθηνή και ευέλικτη

• Διορθωτικά για γενικές θερμικές φορτώσεις και επεξεργασία κεραμικών

3.4 Μεταλλικά υψηλής αντοχής (αλουμίνιο / ανοξείδωτος χάλυβας)

• Καλή μηχανική ικανότητα

• Διορθωτικό για μηχανικούς εξοπλισμούς, αυτοματοποίηση και χειρισμό

• Ιδανικό για μη θερμικές ή μεσαίας θερμοκρασίας διεργασίες

Κάθε υλικό επιλέγεται ώστε να εξασφαλίζεται η μέγιστη απόδοση σε συγκεκριμένες περιβαλλοντικές συνθήκες.

4Βασικές βιομηχανικές εφαρμογές

4.1 Κατασκευή ημιαγωγών

• Τραπέζι μεταφοράς για συστήματα CVD και PECVD

• Πλατφόρμα υποστήριξης για διαδικασίες οξείδωσης και διάχυσης

• Κρατητής αναψύξης και ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP)

• Επεξεργασία κυψελών και αυτοματοποιημένα εργαλεία μεταφοράς

4.2 Παραγωγή LED και οπτοηλεκτρονικών

• Τραπέζι φόρτωσης ζαφείριων και SiC πλακιδίων

• Φορείς επεξεργασίας υποστρώματος σε υψηλές θερμοκρασίες

• Επιταξιακή πλατφόρμα υποστήριξης που απαιτεί σταθερά θερμικά προφίλ

4.3 Προηγμένη επεξεργασία υλικών

• Μεταλλουργία σκόνης και συντριβή

• Εγκατάσταση σε κεραμικό υπόστρωμα

• Τραπέζια για κενό καυστήρα υψηλής θερμοκρασίας

4.4 Μηχανήματα αυτοματισμού και ακριβείας

• Δίσκος περιστρεφόμενου συστατικού

• Πλάκα βάσης ευθυγράμμισης

• Διασύνδεση τοποθέτησης εξοπλισμού

• Προσαρμοσμένος αυτοματοποιημένος μεταφορέας μεταφοράς

Η ευελιξία του το καθιστά κατάλληλο τόσο για θερμικά όσο και για μηχανικά περιβάλλοντα.

5. Σημαντικά πλεονεκτήματα

5.1 Θερμική απόδοση

• Η ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας ελαχιστοποιεί τα θερμά σημεία

• Διορθωτικό για ταχείς θερμικές κυκλώσεις

• Ιδανικό για ακριβείς εργασίες υψηλής θερμοκρασίας

5.2 Διαρθρωτική αντοχή

• Εξαιρετική αντοχή σε μηχανικές πιέσεις

• Αντιδιαμόρφωση υπό μεταβολές φορτίου και θερμοκρασίας

• Η μακρά διάρκεια λειτουργίας μειώνει τους κύκλους συντήρησης

5.3 Σταθερότητα της διαδικασίας

• Μικρός κίνδυνος μόλυνσης κατά τη χρήση SiC ή κεραμικών

• Η σταθερή ακρίβεια των διαστάσεων εξασφαλίζει υψηλή απόδοση του προϊόντος

• Συμβατό με κενό, αδρανή ή ατμοσφαιρική κατάσταση

5.4 Προσαρμοσιμότητα

• Οι διαστάσεις, το πάχος και η γεωμετρία των σχισμών μπορούν να προσαρμοστούν

• Πολλαπλά υλικά διαθέσιμα

• Κεντρική διασύνδεση τοποθέτησης μπορεί να προσαρμοστεί

• Προσφερόμενες επιλογές τελικής επιφάνειας και σήμανσης

Γενικές ερωτήσεις

1Τι είναι ένα SiC κεραμικό δίσκο;

Ένα κεραμικό δίσκο SiC είναι ένα μεταγωγικό ακριβείας κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, σχεδιασμένο για τη στήριξη, το φόρτωμα και τη μεταφορά πλακών ή υποστρώσεων κατά τη διάρκεια ημιαγωγών, LED, οπτικών,και κατασκευή με διαδικασία κενούΠροσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, μηχανική αντοχή και αντοχή σε παραμόρφωση σε σκληρά περιβάλλοντα όπως υψηλές θερμοκρασίες, πλάσμα και χημικές διεργασίες.

2Ποια είναι τα πλεονεκτήματα της χρήσης δίσκων SiC σε σύγκριση με δίσκους κουαρτς, γραφίτη ή αλουμινίου;

Τα δίσκια SiC παρέχουν πολλά ανώτερα οφέλη απόδοσης:

• Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίεςέως 1600 ∼ 1800 °C χωρίς παραμόρφωση

• Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφη κατανομή της θερμότητας

• Εξαιρετική μηχανική αντοχή και σκληρότητα

• Χαμηλή θερμική διαστολή, αποτρέποντας την παραμόρφωση κατά τη διάρκεια του θερμικού κύκλου

• Υψηλή αντοχή στη διάβρωσησε αέρια πλάσματος και χημικά

• Περισσότερη διάρκεια ζωήςσε συνεχείς συνθήκες παραγωγής υψηλής έντασης

3Για ποιες εφαρμογές χρησιμοποιούνται κυρίως οι κεραμικοί δίσκοι SiC;

Τα δίσκια SiC χρησιμοποιούνται ευρέως σε:

• Επεξεργασία πλακών ημιαγωγών

• Η θερμική επεξεργασία LPCVD, PECVD, MOCVD

• Διαδικασίες αναψύξης, διάχυσης, οξείδωσης και επιταξίας

• Εφοδιασμός με ζαφείρινη πλάκα/οπτικό υπόστρωμα

• Περιβάλλον υψηλού κενού και υψηλής θερμοκρασίας

• Πλατφόρμες CMP ακριβείας ή πλατφόρμες φωτισμού γυαλισμού

• Φωτονική και προηγμένος εξοπλισμός συσκευασίας

4Μπορούν οι δίσκοι SiC να αντέξουν θερμικό σοκ;

Ναι, η κεραμική SiC προσφέρει εξαιρετική αντοχή σε θερμικά σοκ λόγω της χαμηλής CTE και της υψηλής αντοχής σε κατάγματα.το οποίο το καθιστά ιδανικό για διαδικασίες κύκλου υψηλής θερμοκρασίας.

Συγγενικά προϊόντα

6 ιντσών Silicon Carbide SiC επικαλυμμένο δίσκο γραφίτη υψηλής αντοχής θερμοκρασίας πλάκες γραφίτη

Κεραμικό σχοινί από καρβίδιο του πυριτίου για σαφίρι SiC

Σχετικά με εμάς

Η ZMSH ειδικεύεται στην ανάπτυξη υψηλής τεχνολογίας, την παραγωγή και την πώληση ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών.Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα SapphireΜε εξειδικευμένη εμπειρία και προηγμένο εξοπλισμό, ξεχωρίζουμε στην μη τυποποιημένη επεξεργασία προϊόντων.,Στόχος είναι να γίνει η κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτικοηλεκτρονικών υλικών.