Επισκόπηση του προϊόντος

ΑΣφραγίδα ανύψωσης ζαφείριείναι ένα κατασκευασμένο με ακρίβεια κατασκευασμένο κατασκευαστικό στοιχείο από υψηλής καθαρότητας μονοκρυσταλλικό ζαφείρι (Al2O3). Είναι σχεδιασμένο για την ανύψωση, τοποθέτηση και μεταφορά πλακών σε εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών.Τα πινάκια ανύψωσης από ζαφείρι χρησιμοποιούνται ευρέως στην καρδιακή νόσο, PECVD, PVD, MOCVD, RTP, συστήματα διάχυσης, χαρακτικής και επιταξίας, όπου η αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, η χημική σταθερότητα και η εξαιρετικά καθαρή απόδοση είναι απαραίτητες.

Χάρη στην εξαιρετική μηχανική αντοχή και την αντοχή στην φθορά του ζαφείριου,Αυτές οι καρφίτσες ανύψωσης βοηθούν στην ελαχιστοποίηση της δημιουργίας σωματιδίων, εξασφαλίζοντας παράλληλα ακριβές χειρισμό πλακιδίων σε όλες τις διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών.

Βασικά χαρακτηριστικά

Υψηλής καθαρότητας μονοκρυστάλλιο ζαφείρι

Κατασκευάζεται από υψηλής ποιότητας οπτικό μονοκρυσταλλικό ζαφείρι, παρέχοντας εξαιρετική καθαρότητα, μηχανική αντοχή και μακροχρόνια αξιοπιστία σε απαιτητικά περιβάλλοντα ημιαγωγών.

Εξαιρετική Αντοχή σε Υψηλές Θερμοκρασίες

Το ζαφείρι διατηρεί εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων και μηχανικές ιδιότητες σε υψηλές θερμοκρασίες, καθιστώντας το κατάλληλο για αποθέματα υψηλής θερμοκρασίας, αναψύκωση και θερμική επεξεργασία εξοπλισμού.

Εξαιρετική αντοχή σε χημικές ουσίες και πλάσμα

Το υλικό παρουσιάζει εξαιρετική αντοχή σε διαβρωτικά αέρια διαδικασίας, περιβάλλοντα πλάσματος και επιθετικά χημικά, παρατείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων.

Παραγωγή πολύ χαμηλών σωματιδίων

Με σκληρότητα Mohs 9 και εξαιρετική αντοχή στην φθορά, οι πινές ανύψωσης από ζαφείρι μειώνουν τη μόλυνση από σωματίδια που προκαλούνται από τριβή, βοηθώντας στη βελτίωση της απόδοσης των κυψελών και της συνέπειας της διαδικασίας.

Κατασκευή υψηλής ακρίβειας

Κάθε πινάκη ανύψωσης είναι μελετημένη με ακρίβεια, γυαλισμένη και επιθεωρημένη για να πληροί αυστηρά πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών για την ακρίβεια των διαστάσεων και την τελική επιφάνεια.

Τυπικές προδιαγραφές

Οι μετρήσεις και οι ανοχές είναι διαθέσιμες κατόπιν αιτήματος.

Εφαρμογές

Τα πινάκια ανύψωσης ζαφείρι χρησιμοποιούνται ευρέως σε:

• Εξοπλισμός επεξεργασίας ημιαγωγών πλακιδίων
• Χημική Αποσύνθεση Ατμών (CVD)
• Πληροφορίες σχετικά με την εξέταση και την αντιμετώπιση της CVD
• Η φυσική αποσύνθεση ατμών (PVD)
• Οργανική CVD μετάλλων (MOCVD)
• Ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP)
• Φούρνοι διάχυσης
• Συστήματα χαρακτικής με πλάσμα
• Εξοπλισμός επιταξίας
• Κατασκευή ημιαγωγών SiC και GaN
• Παραγωγή κυψελών LED

Τα πλεονεκτήματα των ανελκυστήρων με σαφείρι

• Εξαιρετική θερμική σταθερότητα υπό επεξεργασία υψηλών θερμοκρασιών
• Ανώτερη σκληρότητα και αντοχή στην φθορά (καχύτητα Mohs 9)
• Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση από χημικές ουσίες και πλάσμα
• Υπερ-χαμηλή παραγωγή σωματιδίων για εφαρμογές καθαρών χώρων
• Υψηλή ηλεκτρική μόνωση
• Μεγάλη διάρκεια ζωής με μειωμένη συντήρηση
• Εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων για την ακριβή τοποθέτηση των πλακών

Συχνές ερωτήσεις (FAQ)

1- Τι είναι μια ζαφείρινη καρφίτσα;

Μια καρφίτσα ανύψωσης ζαφείρι είναι ένα εξαρτήμα ακριβείας που κατασκευάζεται από μονοκρυστάλλινο ζαφείρι (Al2O3) που χρησιμοποιείται για την ανύψωση, υποστήριξη και τοποθέτηση ημιαγωγών πλακών κατά τη διάρκεια των διαδικασιών κατασκευής.Είναι συνήθως εγκατεστημένο σε CVD, PVD, PECVD, MOCVD, RTP και εξοπλισμός χαρακτικής όπου απαιτούνται υψηλή θερμοκρασία, χημική αντοχή και χαμηλή παραγωγή σωματιδίων.

2Γιατί χρησιμοποιείται ζαφείρι για καρφιά ανύψωσης;

Το ζαφείρι προσφέρει αρκετά πλεονεκτήματα σε σχέση με τα συμβατικά κεραμικά ή μεταλλικά υλικά, μεταξύ των οποίων:

• Εξαιρετική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες
• Υψηλή αντοχή στην φθορά (σκληρότητα Mohs 9)
• Μικρή παραγωγή σωματιδίων
• Εξαιρετική αντοχή σε χημικές ουσίες και πλάσμα
• Υψηλή ηλεκτρική μόνωση
• Μεγάλη διάρκεια ζωής

Αυτές οι ιδιότητες καθιστούν το ζαφείρι ιδανικό υλικό για τον ακριβή χειρισμό των πλακών.

3Τι εξοπλισμός ημιαγωγών χρησιμοποιεί ζαφείρινες καρφίτσες;

Τα πινάκια ανύψωσης από ζαφείρι χρησιμοποιούνται ευρέως σε:

• Συστήματα CVD
• Συστήματα PECVD
• Εξοπλισμός PVD
• Αντιδραστήρες MOCVD
• Συστήματα RTP
• Φούρνοι διάχυσης
• Εξοπλισμός χαρακτικής με πλάσμα
• Συστήματα επιθεώρησης και επεξεργασίας κυψελών
• Εξοπλισμός κατασκευής ημιαγωγών SiC και GaN