Υδροφιλική σύνδεση για 4 6 8 12 ιντσών SiC-Si SiC-SiC

Συσκευές σύνδεσης κυψελών, συνδετική θερμοκρασία δωματίου, υδροφιλική σύνδεση για 4 6 8 12 ιντσών SiC-Si SiC-SiC

Σύνοψη του εξοπλισμού σύνδεσης κυψελών

Αυτός ο σύνδεσμος πλακών είναι σχεδιασμένος για σύνδεση υψηλής ακρίβειας πλακών καρβιδίου του πυριτίου (SiC), υποστηρίζοντας τόσοΣύνδεση σε θερμοκρασία δωματίουκαιυδροφιλική σύνδεσηΗ συσκευή είναι ικανή να χειρίζεται πλακίδια4 ίντσες, 6 ίντσες, 8 ίντσες και 12 ίντσεςΜε προηγμένα συστήματα ευθυγράμμισης και ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας και πίεσης,Αυτό το εξοπλισμό εξασφαλίζει υψηλή απόδοση και εξαιρετική ομοιομορφία για κατασκευή ημιαγωγών ισχύος και εφαρμογές έρευνας.

Ιδιοκτησία του εξοπλισμού σύνδεσης κυψελών

• Τύποι δεσμών: Σύνδεση σε θερμοκρασία δωματίου, υδροφιλική σύνδεση

• Υποστηριζόμενα μεγέθη κυψελών4", 6", 8", 12"

• Υλικά σύνδεσης: SiC-Si, SiC-SiC

• Ακριβότητα ευθυγράμμισης: ≤ ± 1 μm

• Πίεση σύνδεσηςΔιάταξη: 0·5 MPa

• Περιοχή θερμοκρασίας: θερμοκρασία δωματίου έως 400°C (για προ/μετά την επεξεργασία, εάν απαιτείται)

• Δωμάτιο κενού: Περιβάλλον υψηλού κενού για σύνδεση χωρίς σωματίδια

• Χρήστης: Διασύνδεση με οθόνη αφής με προγραμματιζόμενες συνταγές

• Αυτοματοποίηση: Προαιρετική αυτόματη φόρτωση/αφόρτωση πλακών

• Χαρακτηριστικά ασφαλείας: Κλειστό θάλαμο, προστασία από υπερθέρμανση, έκτακτη διακοπή

Ο εξοπλισμός δέσμευσης κυλινδρών έχει σχεδιαστεί για να υποστηρίζει διαδικασίες σύνδεσης υψηλής ακρίβειας για προηγμένα υλικά ημιαγωγών, ιδίως για σύνδεση SiC-SiC και SiC-Si.Μπορεί να χωρέσει πλάκες μέχρι και 12 ίντσες.Το σύστημα υποστηρίζει θερμοκρασία δωματίου και υδροφιλική σύνδεση, καθιστώντας το ιδανικό για θερμικά ευαίσθητες εφαρμογές.Με σύστημα οπτικής ευθυγράμμισης υψηλής ακρίβειας με ακρίβεια κάτω των μικρώνΤο εξοπλισμό περιλαμβάνει ένα προγραμματιζόμενο περιβάλλον ελέγχου με διαχείριση συνταγών, επιτρέποντας στους χρήστες να προσαρμόζουν την πίεση σύνδεσης, τη διάρκεια, το μέγεθος και το μέγεθος της σύνδεσης.και προαιρετικά προφίλ θέρμανσηςΟ σχεδιασμός ενός θαλάμου υψηλού κενού ελαχιστοποιεί τη μόλυνση από σωματίδια και βελτιώνει την ποιότητα σύνδεσης, ενώ χαρακτηριστικά ασφαλείας όπως προστασία από υπερθερμοκρασία, κλειδαριές,και έκτακτη διακοπή λειτουργίας εξασφαλίζουν σταθερή και ασφαλή λειτουργίαΟ αρθρωτός σχεδιασμός του επιτρέπει επίσης την ενσωμάτωση με αυτοματοποιημένα συστήματα επεξεργασίας πλακών για περιβάλλοντα παραγωγής υψηλής απόδοσης.

φωτογραφία

Συμβατά υλικά

Αληθινή θήκη - 6 ιντσών SiC-SiC

(Κύρια βήματα διαδικασίας για την κατασκευή σύνδεσης κυψελών SiC-SiC 6 ιντσών)

(Μικροσκόπηση ηλεκτρονικών μετάδοσης υψηλής ανάλυσης διατομής (HRTEM) της περιοχής του καναλιού SiC MOSFET κατασκευασμένη σε μηχανικό υπόστρωμα 6 ιντσών με επικάσια στρώση)

(Χάρτες διανομής IGSS των συσκευών που κατασκευάζονται σε πλακέτα 6 ιντσών (το πράσινο υποδηλώνει επιτυχία, η απόδοση είναι 90% στο σχήμα α και 70% στο σχήμα β))

Εφαρμογή

• Συσκευή συσκευασίας κινητήρα SiC

• Έρευνα και ανάπτυξη ημιαγωγών ευρείας ζώνης

• Συγκρότημα ηλεκτρονικών μονάδων υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής συχνότητας

• ΜΕΜΣ και συσκευασίες σε επίπεδο κυψελών αισθητήρων

• Υβριδική ενσωμάτωση πλακιδίων που περιλαμβάνουν υπόστρωμα Si, ζαφείρι ή διαμάντι

Ερωτήσεις και απαντήσεις

Ε: Ποιο είναι το κύριο πλεονέκτημα της σύνδεσης SiC σε θερμοκρασία δωματίου;
Α:Αποφεύγει θερμική πίεση και παραμόρφωση υλικού, κρίσιμη για εύθραυστα ή μη συμβατά υποστρώματα θερμικής επέκτασης όπως το SiC.

Ε2: Μπορεί αυτό το εξοπλισμό να χρησιμοποιηθεί για προσωρινή δέσμευση;
Α:Ενώ αυτή η μονάδα ειδικεύεται στην μόνιμη δέσμευση, μια παραλλαγή με λειτουργία προσωρινής δέσμευσης είναι διαθέσιμη κατόπιν αιτήματος.

Ε3: Πώς εξασφαλίζετε την ευθυγράμμιση για πλακίδια υψηλής ακρίβειας;
Α:Το σύστημα χρησιμοποιεί οπτική ευθυγράμμιση με ανάλυση κάτω των μικρών και αλγόριθμους αυτοδιορθώσεως.