 |
Καθαρισμός κεραμικών δίσκων - Αποτρίχωση ολοκληρωμένης μηχανής Αυτοματοποιημένες βιομηχανίες ημιαγωγών
Λεπτομέρειες:
| Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
| Μάρκα: | ZMSH |
|
Λεπτομερής ενημέρωση |
|||
| Μέγεθος: | 7740 × 3390 × 2300 mm (L × W × H) | Ηλεκτρική τροφοδοσία: | AC380V, 50Hz, Συνολική ισχύς 90KW |
|---|---|---|---|
| Πνευματική τροφοδοσία: | 2m3/h, 0,4-0,5MPa Ακατέργαστος αέρας | Εφοδιασμός με νερό: | 2T/h @0,3MPa, ≥12MΩ·cm Αντίσταση |
| Επισημαίνω: | Ηλεκτρονική συσκευή καθαρισμού,Ενσωματωμένη μηχανή καθαρισμού κεραμικών δίσκων με κερί |
||
Περιγραφή προϊόντων
Επισκόπηση του προϊόντος
Αυτό το ενσωματωμένο μηχάνημα καθαρισμού και αποτρίχωσης κεραμικών δίσκων συνδυάζει ένα καθαριστή κεραμικών δίσκων με διπλό τοποθέτημα κεραμικών δίσκων,που προορίζονται για καθαρισμό υψηλής απόδοσης και κερασμό πλακίδων στις βιομηχανίες ζαφείριων και ημιαγωγών, επιτυγχάνοντας σταθερό ποσοστό απόδοσης 99,9%.
Τεχνικές προδιαγραφές
| Παράμετρος | Αξία |
| Μέγεθος | 7740 × 3390 × 2300 mm (L × W × H) |
| Ηλεκτρική τροφοδοσία | AC380V, 50Hz, Συνολική ισχύς 90KW |
| Πνευματική τροφοδοσία | 2m3/h, 0,4-0,5MPa Ακατέργαστος αέρας |
| Εφοδιασμός με νερό | 2T/h @0,3MPa, ≥12MΩ·cm Αντίσταση |
Αρχή λειτουργίας
Στάδιο καθαρισμού κεραμικού δίσκου
-
Καθαρισμός ακριβείας: Χρησιμοποιεί υπερηχητικό καθαρισμό με αποιονισμένο νερό (≥ 12MΩ·cm) για την αφαίρεση των μολυσματικών ουσιών σε επίπεδο μικρών από κεραμικούς δίσκους.
-
Σύστημα ξήρανσης: Τα υψηλής απόδοσης μαχαίρια αέρα και η ξήρανση υπό κενό εξασφαλίζουν μηδενική υπολειπόμενη υγρασία.
Αυτοματοποιημένη διαδικασία αποτρίχωσης
-
Προσαρμογή της όρασης: Οι κάμερες CCD σαρώνουν τις συντεταγμένες της επιφάνειας του δίσκου, επιτυγχάνοντας ακρίβεια θέσης ± 0,02 mm.
-
Ελεγχόμενη αποσύνθεση κεριού: Προγραμματιζόμενα κερατοδιανεμητικά κεφάλια εφαρμόζουν 0,8g±0,05g κερατιού ανά πλάκα.
-
Βελτιστοποίηση της πίεσης: Οι πνευματικοί ενεργοποιητές διατηρούν την ομοιόμορφη πίεση επαφής 5-10N/cm2 κατά την τοποθέτηση της πλάκας.
Ενσωματωμένος έλεγχος
-
Συγχρονισμένη λειτουργία: Ο PLC συντονίζει τη μονάδα καθαρισμού και τους δύο σταθμούς αποτρίχωσης, επιτρέποντας παράλληλη επεξεργασία (μέγιστο 30 δίσκους/ώρα).
-
Επιστροφή ποιότητας: Οι αισθητήρες πάχους σε πραγματικό χρόνο ανιχνεύουν την ομοιομορφία της στρώσης κεριού, ρυθμίζοντας αυτόματα τις παραμέτρους εάν οι αποκλίσεις υπερβαίνουν το ±3%.
Κύρια πλεονεκτήματα
-
Ενεργειακή απόδοση: Ποσοστό ανακύκλωσης καθαρού νερού > 80%, κατανάλωση κεριού 0,8g/κύψος, 35% χαμηλότερη ενέργεια ανά δίσκο
-
Έξυπνη σύνδεση: Συμβατό με το MES/ERP για την ανίχνευση των δεδομένων πλήρους διαδικασίας (πλάτος/πίεση/χρόνος)
-
Δυνατότητα κλιμακώσεως: Προσαρμόσιμα εργαλεία και συνταγές για μη τυποποιημένους δίσκους Φ300-650 mm
Κατανάλωση
| Μέγεθος πλάκας | Διάμετρος δίσκου | Ποσότητα | Χρόνος κύκλου |
| 4 ίντσες | Φ485 mm | 11 κομμάτια | 5 λεπτά/διάγραμμα |
| 4 ίντσες | Φ576 mm | 13 κομμάτια | 6 λεπτά/δίσκο |
| 6 ίντσες | Φ485 mm | 6pcs | 3 λεπτά/διάγραμμα |
| 6 ίντσες | Φ576 mm | 8pcs | 4 λεπτά/δίσκο |
| 8 ίντσες | Φ485 mm | 3 τεμάχια | 2 λεπτά/διάγραμμα |
| 8 ίντσες | Φ576 mm | 5 κομμάτια | 3 λεπτά/διάγραμμα |
Εφαρμογές
Επεξεργασία πλήρους διαδικασίας κεραμικών δίσκων: Καθαρισμός→Σκούπιση→Μερίσματα σε ένα μηχάνημα
Χρησιμοποιείται για την επεξεργασία υλικών ημιαγωγών όπως καρβίδιο του πυριτίου (SiC), πυρίτιο (Si), νιτρίδιο του γαλλίου (GaN) και μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για υλικά όπως ζαφείρι, κεραμικά, κρύσταλλοι,MEMS, και οπτικά προϊόντα.
Ερωτήσεις και απαντήσεις
Ε1: Πώς εξασφαλίζεται το ποσοστό απόδοσης;
Α1: Το ειδικό σύστημα όρασης για κεραμικούς δίσκους επιτυγχάνει ακρίβεια ευθυγράμμισης σε πραγματικό χρόνο ± 0,02 mm.
Ε2: Η κατανάλωση νερού για τον καθαρισμό κεραμικών δίσκων;
Α2: Ποσοστό ανακύκλωσης νερού > 80%, κατανάλωση ≤ 0,5 L/δίσκο.
Ε3: Πώς μπορεί να επιτευχθεί ταχεία αλλαγή μεγέθους πλάκας;
Α3: Η βιβλιοθήκη έξυπνων συσκευών φωτισμού του ενσωματωμένου μηχανήματος εναλλάσσει αυτόματα τα εργαλεία μέσω επιλογής HMI (χρόνος αλλαγής <3 λεπτά).