 
|
Πλήρως αυτόματη μηχανή αραίωσης κυψελών Si SiC GaN αλέτριση υπεραπλών κυψελών
Λεπτομέρειες:
| Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
| Μάρκα: | ZMSH |
|
Λεπτομερής ενημέρωση |
|||
| Wafer Size: | 2" 4" 6" 8"12" | Thinning Range: | 20μm - 800μm |
|---|---|---|---|
| Spindle Speed: | 500 - 6000 rpm | Cooling System: | Water + Air Cooling |
| Power Supply: | AC 380V ±10%, 50/60Hz, 3-phase | Βάρος: | Περίπου 1500 κιλά |
| Επισημαίνω: | Πλήρως αυτόματη μηχανή αραίωσης κυψελών,Μηχανή αραίωσης κυψελών SiC,Μηχανή αραίωσης κυψελών GaN |
||
Περιγραφή προϊόντων
Εισαγωγή του προϊόντος
Η μηχανή αραίωσης πλακιδίων είναι ένα κρίσιμο εργαλείο στην κατασκευή ημιαγωγών, σχεδιασμένο για τη μείωση του πάχους των πλακιδίων μέσω της ακριβούς επεξεργασίας και γυάλωσης.Αυτό το μηχάνημα αραιώσεως πλακών εξασφαλίζει υψηλή ομοιότητα και ποιότητα επιφάνειαςΠαίζει σημαντικό ρόλο σε εφαρμογές όπως συσκευές ισχύος, MEMS και αισθητήρες εικόνας CMOS.
Αρχή λειτουργίας
Η μηχανή αραιώσεως πλακιδίων λειτουργεί με το να στερεώνει την πλακιδιά και να την συνδέει με έναν τροχό αλέσεως υψηλής ταχύτητας που περιστρέφεται.Αυτό το μηχάνημα αραίωσης πλακιδίων ενσωματώνει προηγμένα συστήματα ελέγχου για την παρακολούθηση της πίεσης άλεσης και του πάχους σε πραγματικό χρόνοΟι ενσωματωμένοι μηχανισμοί ψύξης και καθαρισμού βελτιώνουν την απόδοση επεξεργασίας και ελαχιστοποιούν τις ζημιές.
Προδιαγραφή μηχανής αραίωσης κυψελών
| Παράμετρος | Προδιαγραφές | Παρατηρήσεις |
| Μέγεθος πλάκας | Ø2" έως Ø12" (προαιρετικά: Ø8" και άνω) | Υποστηρίζει έως και 300 mm |
| Πεδίο αραίωσης | 50 μm - 800 μm | Ελάχιστο δυνατό πάχος: 20μm (εξαρτάται από το υλικό) |
| Ακριβότητα πάχους | ±1μm | Με προαιρετική μέτρηση πάχους σε γραμμή |
| Επεξεργασία της επιφάνειας | < 5nm Ra (μετά την λεπτή άλεση) | Εξαρτάται από το υλικό και τον τύπο τροχού |
| Τύπος τροχού άλεσης | Τροχός διαμαντινού κύπελλου | Αντικατάστατο |
| Ταχύτητα σπινθήρα | 500 - 6000 στροφές ανά λεπτό | Ελέγχος ταχύτητας χωρίς βήματα |
| Σκούπας Τσακ | Υποστηριζόμενη | Περώδεις κεραμικές συσκευές κενού |
| Σύστημα ψύξης | Η ψύξη με νερό + αέρα | Προλαμβάνει τη θερμική βλάβη |
| Τρόπος λειτουργίας | Εικονική οθόνη με έλεγχο PLC | Παραμέτροι ρυθμιζόμενοι και προγραμματισμένοι |
| Προαιρετικά στοιχεία | Αυτόματη φόρτωση/αφόρτωση, ανίχνευση πάχους, ευθυγράμμιση CCD | Προσαρμόσιμη |
| Ηλεκτρική τροφοδοσία | Δρομολογούμενος 380V ±10%, 50/60Hz, 3-φάση | Διαθέσιμες επιλογές τάσης προσαρμοσμένης |
| Μέγεθος μηχανής | Περίπου 1800 mm × 1500 mm × 1800 mm | Μπορεί να διαφέρει ελαφρά ανάλογα με το μοντέλο |
| Βάρος | Περίπου 1500 κιλά | Χωρίς σύστημα αυτόματης επεξεργασίας |
Εφαρμογές
Η μηχανή αραίωσης πλακών χρησιμοποιείται ευρέως σε διάφορες διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών όπου απαιτούνται εξαιρετικά λεπτές πλακές, όπως συσκευασία 3D IC, κατασκευή συσκευών ισχύος, αισθητήρες εικόνας,και ραδιοσυχνοποιημένα τσιπΤο μηχάνημα αραίωσης κυψελών συνδυάζεται συχνά με διαδικασίες μετά τον αραίωση, όπως η μεταλλικοποίηση πίσω, για να παρέχει μια πλήρη λύση αραίωσης.
Επιπλέον, το μηχάνημα αραίωσης πλακιδίων εφαρμόζεται στα ακόλουθα σενάρια:
-
Προηγμένη συσκευασία:Συμπεριλαμβανομένων των συσκευασιών FO-WLP, 2.5D και 3D, όπου οι λεπτότερες πλάκες επιτρέπουν υψηλότερη ολοκλήρωση και μικρότερες διασυνδέσεις.
-
Κατασκευή συσκευής MEMS:Η αραίωση των κυψελών βελτιώνει την ευαισθησία των αισθητήρων απελευθερώνοντας το δομικό στρώμα.
-
Συσκευές ημιαγωγών ισχύος:Υλικά όπως το SiC και το GaN απαιτούν αραίωση των πλακών για να μειωθεί η απώλεια αγωγιμότητας και να βελτιωθεί η απώλεια θερμότητας.
-
Τσιπ LiDAR:Η αραίωση των κυψελών υποστηρίζει καλύτερη οπτική ευθυγράμμιση και ηλεκτρική απόδοση.
-
Έρευνα και Ανάπτυξη και Ακαδημαϊκό:Τα πανεπιστήμια και τα ερευνητικά ιδρύματα χρησιμοποιούν τη μηχανή αραιώσεως κυψελών για να διερευνήσουν δομές ημιαγωγών και να επαληθεύσουν νέα υλικά.
Ερωτήσεις και απαντήσεις
Ε1:Τι υλικά μπορούν να επεξεργαστούν από αυτό το μηχάνημα αραιώσεως πλακών;
Α1:Η μηχανή αραιώσεως κυψελών μας είναι συμβατή με ένα ευρύ φάσμα υλικών, συμπεριλαμβανομένου του πυριτίου (Si), του καρβιδίου του πυριτίου (SiC), του νιτρικού γαλλίου (GaN), του ζαφείρου, του αρσενικού γαλλίου (GaAs) και άλλων.
Ε2: Πώς εξασφαλίζεται ομοιόμορφο πάχος από αυτό το μηχάνημα αραίωσης πλακιδίων;
Α2: Χρησιμοποιεί κεφαλή άλεσης ακριβείας με παρακολούθηση πάχους σε πραγματικό χρόνο και προσαρμοστικά συστήματα ελέγχου για τη διατήρηση σταθερών αποτελεσμάτων αραίωσης.
Ε3: Ποιο είναι το εύρος πάχους αυτής της μηχανής αραιώσεως πλακών;
Α3: Οι πλάκες μπορούν να αραιωθούν σε 50 μm ή ακόμη πιο αραιά, ανάλογα με το υλικό και τις απαιτήσεις εφαρμογής.
Συγγενικά προϊόντα