Το σύστημα ελέγχου σε πραγματικό χρόνο SICOI 99.9% Αλγόριθμος ακρίβειας για ρομπότ και μηχανές CNC.

Σύστημα ελέγχου σε πραγματικό χρόνο SICOI 99,9% Αλγόριθμος ακρίβειας για ρομποτική και μηχανές CNC

Εισαγωγή
ΣιλικόνηΚαρβίδιοσεΑπομονωτής (SiCOI)αδύνατηταινίεςαντιπροσωπεύουνΑΚόψιμοάκρητάξητουσύνθετουλικά,ΔημιουργήθηκεαπόενσωμάτωσηΑΥψηλό...ποιότητα,Μονό-κρυστάλλιοπυριτίουΚαρβίδιο (SiC)στρώμαΣυνήθως500να600ΝανόμετραχοντρήΠάνωΑπυριτίουδιοξείδιο του άνθρακα (SiO2)Η βάση.Γνωστόγιατουανώτεροςθερμικήαγωγιμότητα,υψηλήηλεκτρικόκατανομήδύναμη,καιΕξαιρετικόαντίστασηναχημικάυποβάθμιση,SiC,Πότε;ζευγαρωμέναμεένααπομονωτικόυποστρώμα,επιτρέπειΤοαναπτυξιακήτουσυσκευέςικανήτουλειτουργίααξιόπισταυπόακραίαισχύς,συχνότητα,καιθερμοκρασίασυνθήκες.

Αρχή
SiCOIαδύνατηταινίεςμπορείνα είναιΚατασκευασμέναΜέσαCMOS-συμβατότεχνικέςΤέτοιαωςιόν-κοπήκαιβούτυροσύνδεση,διευκόλυνσητουςενσωμάτωσημεΣυνηθισμένοημιαγωγόςσυσκευήΠλατφόρμες.

Ιόνιο...ΚόψιμοΤεχνική
Ένα.ευρέωςΧρησιμοποιείταιμέθοδοςπεριλαμβάνειΤοιόν-κόψιμο (Έξυπνος.Κόψιμο)προσέγγιση,πουΑαδύνατηSiCστρώμαείναιμεταφέρονταιΠάνωΑυποστρώμαΜέσαιόνεμφύτευσηΑκολουθείαπόβούτυροΗ σύνδεση.Αυτό...μεθοδολογία,αρχικάαναπτύχθηκεγιαπαραγωγήπυριτίουΕπικοινωνίαμονωτής (Εθνική Εθνική Εταιρεία)φτερούγεςστοκλίμακα,πρόσωπαπροκλήσειςΠότε;ΕφαρμόζεταιναΣΙΚ.Συγκεκριμένα,ιόνεμφύτευσημπορείεισήγαγεδιαρθρωτικήελαττώματασεSiCότιείναιΔύσκολοναεπισκευήμέσωθερμικήζύμωση,επικεφαλήςναουσιαστικήοπτικήαπώλειεςσεΦωτονικήσυσκευές.Επιπλέον,αναψύκωσηστοθερμοκρασίεςΠάνω1000°ΓΜαΐουσύγκρουσημεειδικόδιαδικασίαπεριορισμούς.

Για νανα ξεπεραστείΑυτοίπεριορισμούς,ΜηχανολογικόαραίωσημέσωΣτρίψιμοκαιχημικάΜηχανολογικόγυαλιστική (CMP)μπορείμειώσειΤοSiC/SiO2Ναι.σύνθετοστρώμαναΚάτω1μm,αποδοτικόΑπολύομαλήεπιφάνεια.ΑντιδραστικόιόνΓάψιμο (RIE)προσφορέςέναεπιπλέοναραίωσηδρομολόγιοότιελαχιστοποιείοπτικήαπώλειεςσεSiCOIΠλατφόρμες.Μέσαπαράλληλο,βρεγμένοοξείδωση-υποβοηθούμενηCMPέχειδείχνεταιαποτελεσματικότητασεμείωσηεπιφάνειαπαρατυπίεςκαιδιασκορπισμόςεπιπτώσεις,ΕνώΕπόμενοΥψηλό...θερμοκρασίααναψύκωσημπορείβελτιώσειΣυνολικάβούτυροποιότητα.

ΣφραγίδεςΣύνδεσηΤεχνολογία
ΈναεναλλακτικήπροσέγγισηγιαΚατασκευήSiCOIδομέςπεριλαμβάνειβούτυροσύνδεση,πουπυριτίουΚαρβίδιο (SiC)καιπυριτίου (Σι)φτερούγεςείναισυνδεδεμένοιυπόπίεση,χρησιμοποιώνταςΤοθερμικάοξειδωμένοστρώματασεκαι τα δύοεπιφάνειεςναφόρμαΑΟ δεσμός.Ωστόσο,θερμικήοξείδωσητουSiCμπορείεισήγαγεΤοποθετημένηελαττώματαστοΤοSiC/οξείδιοΔιασύνδεση.ΑυτέςατέλειεςΜαΐουαύξησηοπτικήαναπαραγωγήαπώλειεςήνα δημιουργήσειχρέωσηπαγίδατοποθεσίες.Επιπλέον,ΤοSiO2στρώμασεSiCείναισυχνάκατατεθείσαχρησιμοποιώνταςπλάσμα-βελτιωμένοχημικάατμόκατάθεση (PECVD),ΑδιαδικασίαότιΜαΐουεισήγαγεδιαρθρωτικήπαρατυπίες.

Για ναδιεύθυνσηΑυτοίθέματα,έναβελτιωμένομέθοδοςέχειΈγινεαναπτύχθηκεγιαΚατασκευή3C-SiCOIπατατάκια,πουχρησιμοποιείανωδικήσύνδεσημεβροσιλικικόΓυαλί.Αυτό...τεχνικήΔιατηρείΠλήρηςσυμβατότηταμεπυριτίουμικροεπεξεργασία,CMOSκυκλώματα,καιΣι-Σι...βασισμένηΦωτονικήενσωμάτωση.Εναλλακτικά,αμορφήSiCταινίεςμπορείνα είναιάμεσακατατεθείσαΠάνωSiO2/Ναι.φτερούγεςμέσωPECVDήσπινθήρες,προσφοράΑαπλοποιημένοκαιCMOS-ΦιλικόΚατασκευήΟ δρόμος.ΑυτέςΠροόδουςσημαντικάβελτιώσειΤοκλιμακωτότητακαιΕφαρμόσιμητουSiCOIτεχνολογίεςσεΦωτονική.

Πλεονεκτήματα
ΜέσασύγκρισηναρεύμαυλικόπλατφόρμεςΤέτοιαωςπυριτίουΕπικοινωνίαμονωτής (ΥΠΕ),πυριτίουνιτρικό οξύ (SiN),καιΛιθίουνιοβατικό-Επικοινωνίαμονωτής (ΙΝΟΙ),ΤοSiCOIπλατφόρμαπροσφορέςδιακριτόεπιδόσειςπαροχέςγιαΦωτονικήεφαρμογές.Μετουμοναδικόιδιότητες,SiCOIείναιόλο και περισσότεροαναγνωρισμένοωςΑελπιδοφόραυποψήφιοςγιαΕπόμενο...γενιάςκβαντικότεχνολογίες.Είναι...Κλειδίπλεονεκτήματαπεριλαμβάνουν:

• ΓεράΟπτικήΔιαφάνεια:SiCOIεκθέματαυψηλήδιαφάνειααπό την άλλη πλευράΑπλάτοςφασματικόεύροςαπόπερίπου400nmνα5000μμΕνώδιατήρησηχαμηλάοπτικήαπώλεια,μεΟδηγός κυμάτωναποδυνάμωσηΣυνήθωςΚάτω1dB/cm.

• ΠολυλειτουργικόΙκανότητα:Ηπλατφόρμαεπιτρέπειποικίλεςλειτουργίες,Συμπεριλαμβανομένωνηλεκτρο-οπτικήδιαμόρφωση,θερμικήρύθμιση,καισυχνότηταέλεγχο,παραγωγή- Ναι.κατάλληλογιαπολύπλοκοενσωματωμένοΦωτονικήκυκλώματα.

• Μη γραμμικήΟπτικήΙδιότητες:SiCOIυποστήριξηΔεύτερον...αρμονικήγενιάςκαιΆλλαμη γραμμικήεπιπτώσεις,και- Ναι.ΕπίσηςπαρέχειΑβιώσιμηθεμέλιογιαΜονό-φωτόνιοεκπομπήΜέσακατασκευασμένοχρώμακέντρα.

Εφαρμογές

SiCOIυλικάενσωματώσειΤοανώτεροςθερμικήαγωγιμότητακαιυψηλήκατανομήτάσητουπυριτίουΚαρβίδιο (SiC)μεΤοΕξαιρετικόηλεκτρικόμόνωσηιδιότητεςτουοξείδιοστρώματα,ΕνώσημαντικάβελτίωσηΤοοπτικήχαρακτηριστικάτουπρότυποSiCυποστρώματα.Αυτό...ΚάνειτουςπολύκατάλληλογιαΑπλάτοςεύροςτουπροχωρημένοαιτήσεις,Συμπεριλαμβανομένωνενσωματωμένοφωτονική,κβαντικόοπτική,καιΥψηλό...επιδόσειςΔύναμηΗλεκτρονικά.

Χρησιμοποίηση μόχλευσηςΤοSiCOIπλατφόρμαερευνητέςνα έχουνεπιτυχώςΚατασκευασμέναΠοικίλαΥψηλό...ποιότηταΦωτονικήσυσκευέςΤέτοιαωςευθείαοδηγούς κυμάτων,Μικρόχτυλοκαιμικροδιάγραμμααντηχούντες,Φωτονικήκρυστάλλιοοδηγούς κυμάτων,ηλεκτρο-οπτικήδιαμορφωτές,ΜαχΖέντερπαρεμβολικά (ΜΜΕ),καιοπτικήδέσμηΜοιραστήρες.ΑυτέςσυστατικάείναιΧαρακτηριστικόαπόχαμηλάαναπαραγωγήαπώλειακαιΕξαιρετικόλειτουργικόαπόδοση,παρέχονταςανθεκτικήυποδομέςγιατεχνολογίεςΌπως...κβαντικόεπικοινωνία,Φωτονικήσήμαμεταποίηση,καιΥψηλό...συχνότηταΔύναμησυστήματα.

ΑπόΧρησιμοποίησηΑαδύνατηταινίαδομήΣυνήθωςσχηματίστηκαναπόστρώσειςΜονό-κρυστάλλιοSiC (Γύρω500 ̇600nmπαχιά)ΠάνωΑπυριτίουδιοξείδιο του άνθρακαυποστρώμαSiCOIεπιτρέπειλειτουργίασεαπαιτητικήπεριβάλλονταπου περιλαμβάνειυψηλήισχύς,αυξημένοθερμοκρασίες,καιΡαδιοφωνία...συχνότητασυνθήκες.Αυτό...σύνθετοΣχεδιασμόςθέσειςSiCOIωςΑεπικεφαλήςπλατφόρμαγιαΕπόμενο...γενιάςοπτικοηλεκτρονικάκαικβαντικόσυσκευές.

Ερωτήσεις και απαντήσεις

Ερώτηση 1:- Τι;είναιΑSiCOIΓουέφερ;
Α1: ΑSiCOI (ΣιλικόνηΚαρβίδιοσεΑπομονωτικό)βούτυροείναιΑσύνθετοδομήπου αποτελείταιτουΑαδύνατηστρώματουΥψηλό...ποιότηταΜονό-κρυστάλλιοπυριτίουΚαρβίδιο (SiC)συνδεδεμέναήκατατεθείσασεένααπομονωτικόστρώμα,Συνήθωςπυριτίουδιοξείδιο του άνθρακα (SiO2).Αυτό...δομήΣυμπλέκτεςΤοΕξαιρετικόθερμικήκαιηλεκτρικόιδιότητεςτουSiCμεΤοαπομόνωσηπαροχέςτουέναμονωτής,παραγωγή- Ναι.πολύκατάλληλογιαΕφαρμογέςσεφωτονική,Δύναμηηλεκτρονικά,καικβαντικότεχνολογίες.

Ε2:- Τι;είναιΤοκύριοΕφαρμογήΠεριοχέςτουSiCOIΓουάφες;
Α2: SiCOIφτερούγεςείναιευρέωςΧρησιμοποιείταισεενσωματωμένοφωτονική,κβαντικόοπτική,RFηλεκτρονικά,Υψηλό...θερμοκρασίασυσκευές,καιΔύναμησυστήματα.ΤυπικόσυστατικάπεριλαμβάνουνΜικρόχτυλοαντηχούντες,ΜαχΖέντερπαρεμβολικά (ΜΜΕ),οπτικήοδηγούς κυμάτων,διαμορφωτές,μικροδιάγραμμααντηχούντες,καιδέσμηΜοιραστήρες.

Ε4:Πώς;είναιSiCOIφτερούγεςΦτιαγμένο;
Α4: SiCOIφτερούγεςμπορείνα είναιπαραγόμενοχρησιμοποιώνταςΠοικίλαμεθόδους,ΣυμπεριλαμβανομένωνΈξυπνο...Κόψιμοιόν-κοπήκαιβούτυροσύνδεση),απευθείαςσύνδεσημεΣτρίψιμοκαιCMP,ανωδικήσύνδεσημεγυαλί,ήαπευθείαςκατάθεσητουαμορφήSiCμέσωPECVDήΠυροβολισμός.ΗεπιλογήτουμέθοδοςεξαρτάταισεΤοΕφαρμογήκαιεπιθυμητόSiCταινίαποιότητα.

σχετικό προϊόν