Ιδιότητες υλικού του πολυκρυσταλλικού SiC CVD

Το CVD πολυκρυσταλλικό SiC παράγεται με χημική εναπόθεση ατμών.και ισχυρή σταθερότητα σε περιβάλλον καθαρής διεργασίας ημιαγωγών.

Πλεονεκτήματα του προϊόντος

Υψηλή καθαρότητα

Η καθαρότητα του CVD SiC μπορεί να φτάσει99.99997%, συμβάλλοντας στη μείωση του κινδύνου μόλυνσης από μέταλλα στις διαδικασίες front-end των ημιαγωγών.

Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση του πλάσματος

Το CVD SiC διατηρεί καλή σταθερότητα σε περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο και το χλώριο, μειώνοντας την φθορά των εξαρτημάτων και την παραγωγή σωματιδίων.

Υψηλή θερμική αγωγιμότητα

Με θερμική αγωγιμότητα240·360 W/m·K, το CVD SiC συμβάλλει στη βελτίωση της ομοιομορφίας του θερμικού πεδίου και της συνέπειας της διαδικασίας.

Σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες

Τα συστατικά CVD SiC είναι κατάλληλα για EPI, διάχυση, RTP και άλλες διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας. Διατηρούν καλή σταθερότητα διαστάσεων κατά τη διάρκεια μακροχρόνιας χρήσης.

Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στην φθορά

Η υψηλή σκληρότητα Vickers παρέχει εξαιρετική αντοχή στην φθορά και συμβάλλει στην παράταση της ζωής των εξαρτημάτων.

Διαθέσιμη εξειδικευμένη μηχανική

Τα προϊόντα μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τα σχέδια των πελατών, συμπεριλαμβανομένης της εξωτερικής διαμέτρου, της εσωτερικής διαμέτρου, των τρυπών, των αυλακώσεων, των βημάτων, των καμπυλών, της κατάστασης της επιφάνειας και της ακρίβειας της συναρμολόγησης.

Πεδία εφαρμογής

Τα πολυκρυσταλλικά συστατικά SiC CVD χρησιμοποιούνται ευρέως σε:

• Εξοπλισμός ξηρής χαρακτικής
• Εξοπλισμός επιταξίας
• Εξοπλισμός καυστήρων διάχυσης
• Εξοπλισμός RTP
• Τμήματα OEM εξοπλισμού ημιαγωγών
• Αντικατάσταση ανταλλακτικών για πλακίδια fab
• Επεξεργασίες κυψελών Si, SiC, GaN, GaAs

Ερωτήσεις και απαντήσεις

Ε1: Τι είναι τα CVD πολυκρυσταλλικά SiCσυστατικάΧρησιμοποιείται για;

CVD πολυκρυσταλλικό SiCσυστατικάπου χρησιμοποιούνται κυρίως στο front-end των ημιαγωγώνεξοπλισμός,Συμπεριλαμβανομένων ΞηράΈτσερ, EPI, διάχυση και RTPσυστήματα.ΤυπικόΤα προϊόντα περιλαμβάνουν:Δαχτυλίδια SiCηλεκτρόδια,άκρηΔαχτυλίδια, υποδοχείς, βάρκες SiC και πλαστικά πλακάκια.

Ε2: Ποια είναι τα πλεονεκτήματα του CVD SiC σε σύγκριση με τα τμήματα από χαλαζία ή πυρίτιο;

Η CVD SiC προσφέρει καλύτεραδιάβρωση πλάσματοςαντίσταση, υψηλής θερμοκρασίαςσταθερότητα, θερμική αγωγιμότητα, σκληρότητα καιΥπηρεσίαΖωήΜπορεί.μειώσει σωματίδιοπαραγωγή καισυστατικόντυθείτεσκληρόημιαγωγόςδιαδικασία περιβάλλοντα.

Ε3: Ποια είναι τα υλικάδιαθέσιμαγια αυτάσυστατικά?

Μπορούμε να παρέχουμεσυστατικάκατασκευασμένα απόCVD SiC, μεμονωμένοκρυστάλλιοΣιλικόνη, πολυ-κρυστάλλιοΣιλικόνη και χαλαζία, ανάλογα με τηνΕφαρμογήκαιεξοπλισμός Απαιτήσεις.