Ο εξοπλισμός ανύψωσης με λέιζερ με ημιαγωγούς φέρνει επανάσταση στην αραίωση των ινγκότ

Παρουσίαση προϊόντων εξοπλισμού ανύψωσης με λέιζερ ημιαγωγών

Ο εξοπλισμός ανύψωσης με λέιζερ ημιαγωγών είναι μια εξαιρετικά εξειδικευμένη βιομηχανική λύση που έχει σχεδιαστεί για ακριβή και ασύνδετη αραίωση των ημιαγωγών ίνγκων μέσω τεχνικών ανύψωσης που προκαλούνται από λέιζερΑυτό το προηγμένο σύστημα διαδραματίζει καίριο ρόλο στις σύγχρονες διεργασίες κατασκευής κυψελών ημιαγωγών, ιδίως στην κατασκευή υπεραπλών κυψελών για ηλεκτρονικές συσκευές υψηλής απόδοσης, LED και συσκευές RF..Επιτρέποντας το διαχωρισμό λεπτών στρωμάτων από χύδην ίνγκο ή δότη υποστρώματα, η συσκευή Lift-Off Laser των ημιαγωγών φέρνει την επανάσταση στον αραίωση των ίνγκο με την εξάλειψη της μηχανικής πριονίσεως, της άλεσης,και χημικά βήματα χαρακτικής.

Η παραδοσιακή αραιοποίηση των ημιαγωγών ινγκότ, όπως το νιτρίδιο του γαλλίου (GaN), το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) και ο σαφείριος, είναι συχνά πολυεργατική, σπαταλητική και επιρρεπής σε μικροσχισμές ή ζημιές στην επιφάνεια.ΑντίθεταΤο εξοπλισμό ανάρτησης με ημιαγωγό λέιζερ προσφέρει μια μη καταστροφική, ακριβή εναλλακτική λύση που ελαχιστοποιεί την απώλεια υλικού και την επιφανειακή πίεση, αυξάνοντας παράλληλα την παραγωγικότητα.Υποστηρίζει μια μεγάλη ποικιλία κρυσταλλικών και σύνθετων υλικών και μπορεί να ενσωματωθεί απρόσκοπτα σε γραμμές παραγωγής ημιαγωγών front-end ή midstream.

Με διαμορφώσιμα μήκη κύματος λέιζερ, προσαρμοστικά συστήματα εστίασης, και κενό-συμβατό wafer chucks, αυτός ο εξοπλισμός είναι ιδιαίτερα κατάλληλος για το τεμαχισμό ίνγκο, δημιουργία λαμέλας,και αποδέσμευση εξαιρετικά λεπτών ταινιών για κάθετες δομές συσκευών ή μεταφορά ετεροεπιταξιακών στρωμάτων.

Παράμετρος εξοπλισμού ανάληψης λέιζερ με ημιαγωγούς

Αρχή λειτουργίας εξοπλισμού ανάληψης λέιζερ με ημιαγωγούς

Ο βασικός μηχανισμός του εξοπλισμού ανύψωσης με ημιαγωγό λέιζερ βασίζεται σε επιλεκτική φωτοθερμική αποσύνθεση ή αφαίρεση στη διασύνδεση μεταξύ του δορυφορικού ίνγκουτ και του επιταξιακού ή στόχου στρώματος.Ένα υπεριώδες λέιζερ υψηλής ενέργειας (συνήθως KrF στα 248 nm ή στερεόστατα υπεριώδη λέιζερ γύρω στα 355 nm) επικεντρώνεται μέσω ενός διαφανούς ή ημιδιαφανούς δορητικού υλικού, όπου η ενέργεια απορροφάται επιλεκτικά σε προκαθορισμένο βάθος.

Αυτή η τοπική απορρόφηση ενέργειας δημιουργεί μια υψηλής πίεσης φάση αερίου ή θερμική στρώση επέκτασης στη διεπαφή,που ξεκινά την καθαρή αποστρωματοποίηση του άνω στρώματος πλάκας ή συσκευής από τη βάση της ίνγκοτΗ διαδικασία ρυθμίζεται λεπτά ρυθμίζοντας παραμέτρους όπως πλάτος παλμού, ροή λέιζερ, ταχύτητα σάρωσης και εστιακό βάθος άξονα z.Το αποτέλεσμα είναι μια εξαιρετικά λεπτή φέτα, συχνά στην περιοχή των 10 έως 50 μm, καθαρά διαχωρισμένη από την αρχική ίνγκο χωρίς μηχανική συσκότιση..

Η μέθοδος αυτή της αφαίρεσης με λέιζερ για την αραίωση των ίντρων αποφεύγει την απώλεια της κοπής και τη ζημιά της επιφάνειας που σχετίζονται με το πριονισμό διαμαντιούχου καλωδίου ή τη μηχανική κοπή.Διατηρεί επίσης την ακεραιότητα των κρυστάλλων και μειώνει τις απαιτήσεις γυαλισμού, καθιστώντας τον εξοπλισμό ανύψωσης με λέιζερ ημιαγωγών ένα εργαλείο που αλλάζει το παιχνίδι για την παραγωγή πλακιδίων επόμενης γενιάς.

Εφαρμογές εξοπλισμού ανάληψης με λέιζερ ημιαγωγών

Ο εξοπλισμός ανύψωσης με λέιζερ ημιαγωγών έχει ευρεία εφαρμογή στον αραίωση ίνγκοτ σε ένα ευρύ φάσμα προηγμένων υλικών και τύπων συσκευών, συμπεριλαμβανομένων:

• Επενδύσεις σε ηλεκτρικές συσκευές
  Επιτρέπει τη δημιουργία λεπτών πλακών για υψηλής απόδοσης, χαμηλής αντίστασης τρανζίστορες ισχύος και διόδους.

- Δεν ξέρω.

• Επεξεργασία υποστρώματος SiC και διαχωρισμός λαμέλας
  Επιτρέπει την ανάληψη σε κλίμακα πλακών από χύδην υπόστρωμα SiC για κάθετες δομές συσκευών και επαναχρησιμοποίηση πλακών.

- Δεν ξέρω.

• Διακόσμηση κυψελών LED
  Διευκολύνει την απομάκρυνση των στρωμάτων GaN από παχιά μπαλόνια ζαφείρι για την παραγωγή υπερ- λεπτών υποστρωμάτων LED.

- Δεν ξέρω.

• Κατασκευή συσκευών ραδιοσυχνοτήτων και μικροκυμάτων
  Υποστηρίζει δομές υπερ- λεπτών υπερ-ηλεκτρονικής κινητικότητας (HEMT) που απαιτούνται στα συστήματα 5G και ραντάρ.

- Δεν ξέρω.

• Μεταφορά επιταξιακής στρώσης
  Απομακρύνει με ακρίβεια τα επιταξιακά στρώματα από κρυσταλλικές ίνες για επαναχρησιμοποίηση ή ενσωμάτωση σε ετεροδομές.

- Δεν ξέρω.

• Ηλιακά κύτταρα λεπτής ταινίας και ηλιακή ενέργεια
  Χρησιμοποιείται για τον διαχωρισμό λεπτών στρωμάτων απορροφητών για ευέλικτα ή υψηλής απόδοσης ηλιακά κύτταρα.

Σε κάθε έναν από αυτούς τους τομείς, ο εξοπλισμός ανύψωσης με λέιζερ ημιαγωγών παρέχει ασύγκριτο έλεγχο της ομοιομορφίας πάχους, της ποιότητας της επιφάνειας και της ακεραιότητας του στρώματος.

Τα πλεονεκτήματα της Λάιζερ

• Μηδενικές απώλειες υλικού
  Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές μεθόδους κοπής πλακών, η διαδικασία με λέιζερ έχει ως αποτέλεσμα σχεδόν 100% αξιοποίηση υλικού.

- Δεν ξέρω.

• Ελάχιστη ένταση και παραμόρφωση
  Η μη-συναντητική αποσύνδεση εξαλείφει τις μηχανικές δονήσεις, μειώνοντας το τόξο της πλάκας και τον σχηματισμό μικροτσίμπησης.

- Δεν ξέρω.

• Διατήρηση της ποιότητας της επιφάνειας
  Σε πολλές περιπτώσεις, δεν απαιτείται μετά το αραιώσιμο γλείψιμο ή γυάλισμα, καθώς η ανύψωση με λέιζερ διατηρεί την ακεραιότητα της επιφάνειας.

- Δεν ξέρω.

• Υψηλή απόδοση και έτοιμη αυτοματοποίηση
  Δυνατότητα επεξεργασίας εκατοντάδων υποστρώσεων ανά βάρδια με αυτοματοποιημένη φόρτωση/αφόρτωση.

- Δεν ξέρω.

• Προσαρμόζεται σε πολλαπλά υλικά
  Είναι συμβατό με GaN, SiC, ζαφείρι, GaAs, και τα αναδυόμενα υλικά III-V.

- Δεν ξέρω.

• Ασφαλέστερος για το περιβάλλον
  Μειώνει τη χρήση συσσωρευτών και σκληρών χημικών ουσιών που είναι χαρακτηριστικές των διαδικασιών αραιώσεως με βάση το λιπάδι.

- Δεν ξέρω.

• Επαναχρησιμοποίηση υποστρώματος
  Οι ίνες δωρητών μπορούν να ανακυκλωθούν για πολλαπλούς κύκλους ανύψωσης, μειώνοντας σημαντικά το κόστος των υλικών.

Συχνές ερωτήσεις (FAQ) για συσκευές ανάληψης με λέιζερ ημιαγωγών

Ε: Ποιο εύρος πάχους μπορεί να επιτύχει ο εξοπλισμός ανύψωσης λέιζερ ημιαγωγών για φέτες πλακιδίων;
Α1:Το τυπικό πάχος της φέτας κυμαίνεται από 10 μm έως 100 μm ανάλογα με το υλικό και τη διαμόρφωση.

Ε2: Μπορεί αυτό το εξοπλισμό να χρησιμοποιηθεί για να αραιώσει ίνγκο από αδιαφανή υλικά όπως το SiC;
Α2:Με τη ρύθμιση του μήκους κύματος του λέιζερ και τη βελτιστοποίηση της μηχανικής διεπαφής (π.χ. θυσιαστικά ενδιάμεσα στρώματα), μπορούν να επεξεργαστούν ακόμη και μερικώς αδιαφανή υλικά.

Ε3: Πώς ευθυγραμμίζεται το υπόστρωμα δωρητή πριν από την αφαίρεση με λέιζερ;
Α3:Το σύστημα χρησιμοποιεί ενότητες ευθυγράμμισης με βάση την οπτική εικόνα υπομικρών με ανατροφοδότηση από τα καταπιστευτικά σήματα και τις σαρώσεις αντανάκλασης επιφάνειας.

Ε4: Ποιος είναι ο αναμενόμενος χρόνος κύκλου για μία λειτουργία ανύψωσης με λέιζερ;
Α4:Ανάλογα με το μέγεθος και το πάχος της πλάκας, οι τυπικοί κύκλοι διαρκούν από 2 έως 10 λεπτά.

Ε5: Η διαδικασία απαιτεί περιβάλλον καθαρού δωματίου;
Α5:Αν και δεν είναι υποχρεωτική, συνιστάται η ενσωμάτωση καθαρού χώρου για τη διατήρηση της καθαρότητας του υποστρώματος και της απόδοσης της συσκευής κατά τη διάρκεια λειτουργιών υψηλής ακρίβειας.

Συγγενικά προϊόντα

6 ιντσών Dia153mm 0,5 mm μονοκρυσταλλικό SiC Silicon Carbide κρυστάλλινο σπόρο Wafer ή ίνγκο

Μηχανή κοπής SiC Ingot για 4 ίντσες 6 ίντσες 8 ίντσες 10 ίντσες

Σχετικά με εμάς

Η ZMSH ειδικεύεται στην ανάπτυξη υψηλής τεχνολογίας, την παραγωγή και την πώληση ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών.Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα SapphireΜε εξειδικευμένη εμπειρία και προηγμένο εξοπλισμό, ξεχωρίζουμε στην μη τυποποιημένη επεξεργασία προϊόντων.,Στόχος είναι να είναι η κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτοηλεκτρονικών υλικών.

Πληροφορίες συσκευασίας και αποστολής

Μέθοδος συσκευασίας:

• Όλα τα αντικείμενα είναι καλά συσκευασμένα για να εξασφαλιστεί η ασφαλή διαμετακόμιση.
• Η συσκευασία διαθέτει αντιστατικά, ανθεκτικά σε χτυπήματα και ανθεκτικά στη σκόνη υλικά.
• Για ευαίσθητα εξαρτήματα όπως πλακίδια ή οπτικά μέρη, υιοθετούμε συσκευασίες καθαρού δωματίου:

1. Προστασία από σκόνη κλάσης 100 ή 1000, ανάλογα με την ευαισθησία του προϊόντος.
2. Διατίθενται εξατομικευμένες επιλογές συσκευασίας για ειδικές απαιτήσεις.

Διάδρομοι αποστολής και εκτιμώμενος χρόνος παράδοσης:

• Συνεργαζόμαστε με αξιόπιστους διεθνείς παρόχους logistics, συμπεριλαμβανομένων:

UPS, FedEx, DHL

• Ο κανονικός χρόνος παραλαβής είναι 3-7 εργάσιμες ημέρες ανάλογα με τον προορισμό.
• Οι πληροφορίες παρακολούθησης θα παρέχονται μόλις αποσταλεί η παραγγελία.
• Επιταχυνόμενη αποστολή και ασφαλιστικές επιλογές είναι διαθέσιμες κατόπιν αιτήματος.