Μηχανή γυάλωσης ριζών ιόντων
Ατομική ακρίβεια · Επεξεργασία χωρίς επαφή · Υπερλεπτές επιφάνειες

Επισκόπηση του προϊόντος της μηχανής γυαλισμού ριζών ιόντων
 

Το μηχάνημα CNC για το σχηματισμό ή την γυάλωση ακτίνων ιόντων λειτουργεί με την αρχή:ιόντωνΥπό κενό, η πηγή ιόντων παράγει μια ακτίνα πλάσματος, η οποία επιταχύνεται σε ακτίνα ιόντων που βομβαρδίζει την επιφάνεια του εργαστηρίου για την αφαίρεση υλικού ατομικού επιπέδου.που επιτρέπουν την εξαιρετικά ακριβή κατασκευή οπτικών εξαρτημάτων.

Η τεχνολογία αυτή προσφέρειεπεξεργασία χωρίς επαφή, απαλλαγμένη από μηχανική πίεση ή υποεπιφανειακή βλάβη, και είναι ιδανική για οπτική υψηλής ακρίβειας στην αστρονομία, την αεροδιαστημική, τους ημιαγωγούς και την επιστημονική έρευνα.

Αρχή λειτουργίαςαπό μηχανή γυαλισμού ιχθύων ιόντων

• Παραγωγή ιόντωνΤο αδιάβροχο αέριο (π.χ. αργόνιο) εισάγεται στον θάλαμο κενού και ιονίζεται με ηλεκτρικό πεδίο εκφόρτισης.

• Επιτάχυνση ιόντων και σχηματισμός δέσμηςΤα ιόντα επιταχύνονται σε εκατοντάδες ή χιλιάδες ηλεκτρονιοβόλτ (eV) και σχηματίζονται σε ένα σταθερό σημείο δέσμης με εστίαση της οπτικής.

• Απομάκρυνση υλικούΗ ακτίνα ιόντων φυσικά εκτοξεύει τα άτομα της επιφάνειας χωρίς χημικές αντιδράσεις.

• Μέτρηση σφαλμάτων και σχεδιασμός διαδρομήςΤα σφάλματα της εικόνας της επιφάνειας μετρούνται μέσω παρεμβολαιομετρίας, στη συνέχεια χρησιμοποιούνται λειτουργίες αφαίρεσης για τον υπολογισμό των χρόνων διαμονής της δέσμης και τη δημιουργία διαδρομών επεξεργασίας.

• Διόρθωση κλειστού βρόχουΟι κύκλοι επεξεργασίας και μέτρησης επαναλαμβάνονται έως ότου επιτευχθούν οι στόχοι RMS/PV.

Χαρακτηριστικά εξοπλισμούαπό μηχανή γυαλισμού ιχθύων ιόντων

• Επεξεργασία χωρίς επαφήΔυνατότητα χειρισμού όλων των μορφών επιφάνειας

• Σταθερό ποσοστό αφαίρεσηςΑκριβότητα διόρθωσης υπονανομετρικών αριθμών

• Καμία υποεπιφανειακή βλάβηΔιατηρεί την οπτική ακεραιότητα

• Υψηλή συνέπεια∆ Ελάχιστη διακύμανση μεταξύ υλικών διαφορετικής σκληρότητας

• Διόρθωση χαμηλής/μέσης συχνότηταςΧωρίς παραγωγή σφάλματος μεσαίας υψηλής συχνότητας

• Χαμηλό κόστος συντήρησης∆ Μακροχρόνια συνεχή λειτουργία με ελάχιστο χρόνο στάσης

Δυναμικό επεξεργασίας εξοπλισμούαπό μηχανή γυαλισμού ιχθύων ιόντων

Διαθέσιμες επιφάνειες:

• Απλές οπτικές συνιστώσες: επίπεδο, σφαίρα, πρίσμα

• Σύνθετα οπτικά εξαρτήματα: Συμμετρική/ασυμμετρική ασφαίρα, ασφαίρα εκτός άξονα, κυλινδρική επιφάνεια

• Ειδικά οπτικά εξαρτήματα: Υπερτελή οπτική, οπτική πλάκας, ημισφαιρική οπτική, συμβατική οπτική, πλάκες φάσης, επιφάνειες ελεύθερης μορφής, άλλα προσαρμοσμένα σχήματα

Διαθέσιμα υλικά:

• Συνηθισμένο οπτικό γυαλί: Κουάρτζ, μικροκρυσταλλικό, Κ9, κλπ.

• Υποκόκκινη οπτική: Σιλικόνιο, Γερμανίμιο κλπ.

• Μεταλλικά: αλουμίνιο, ανοξείδωτο χάλυβα, κράμα τιτανίου κλπ.

• Κρυσταλλικά υλικά: YAG, μονοκρυσταλλικό καρβίδιο πυριτίου κλπ.

• Άλλα σκληρά/αδύναμα υλικά: Καρβίδιο του πυριτίου κλπ.

Ποιότητα / ακρίβεια επιφάνειας:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0,5 nm

Πλεονεκτήματα του προϊόντοςαπό μηχανή γυαλισμού ιχθύων ιόντων

• Ακριβότητα αφαίρεσης σε ατομικό επίπεδο∆ΕΙΤΙΚΗΣΕΙΣ ∆ΙΚΑΡΙΣΜΟΣ ∆ΙΚΑΡΙΣΜΟΣ ∆ΙΚΑΡΙΣΜΟΣ

• Ευέλικτη συμβατότητα σχήματοςΑπό την επίπεδη οπτική στις σύνθετες ελεύθερες μορφές

• Ευρεία προσαρμοστικότητα του υλικούΑπό κρυστάλλους ακριβείας σε σκληρή κεραμική και μέταλλα

• Μεγάλη ικανότητα διαφάνειαςΟπτική επεξεργασίας έως Φ4000 mm

• Διευρυμένη σταθερή λειτουργίαΔραστηριάζει 3-5 εβδομάδες χωρίς συντήρηση του θαλάμου κενού.

Τυπικά μοντέλα μηχανής γυάλωσης με ακτίνα ιόντων

• ΙΒF350 / ΙΒF750 / ΙΒF1000 / ΙΒF1600 / ΙΒF2000 / ΙΒF4000

• Άξονες κίνησης: 3-άξονας / 5-άξονας

• Μέγιστο μέγεθος εργαστηρίου: έως Φ4000 mm

Υπόθεση 1 Standard Flat Mirror (Κλασικός επίπεδος καθρέφτης)

• Εργασιακό κομμάτι: D630 mm Quartz flat

• Αποτελέσματα: PV 46,4 nm, RMS 4,63 nm

- Δεν ξέρω.

Υπόθεση 2 ∆ακτυλοεισφαιριστής ακτίνων Χ

• Εργασιακό κομμάτι: 150 × 30 mm Σιλικόνιο επίπεδο

• Αποτελέσματα: PV 8,3 nm, RMS 0,379 nm, κλίση 0,13 μrad

- Δεν ξέρω.

Υπόθεση 3 ∆ίγμα εκτός άξονα

• Εργασιακό κομμάτι: D326 mm Ανεξάρτητος άξονας καθρέφτης εδάφους

• Αποτελέσματα: PV 35,9 nm, RMS 3,9 nm

Πεδία εφαρμογής της μηχανής γυαλισμού με ακτίνα ιόντων

• Αστρονομική οπτικήΠρωτογενείς/δευτερεύοντες καθρέφτες μεγάλων τηλεσκοπίων

• Διαστημική οπτική∆ημοκρατία της Κίνας

• Συστήματα λέιζερ υψηλής ισχύοςΟπτική ICF, διαμόρφωση δέσμης

• Οπτική ημιαγωγών∆αντίες και καθρέφτες λιθογραφίας

• Επιστημονικά όργανα∆ανεικτές ακτίνων Χ/νευτρονίων, βασικά κατασκευαστικά στοιχεία μετρολογίας